Gebraucht SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV 10SD-160 #9288565 zu verkaufen

SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV 10SD-160
ID: 9288565
Wafergröße: 6"
Ion implanter, 6".
SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV 10SD-160 ist ein Hochleistungs-Ionen-Implantierer und -Monitor für den Einsatz in einer Vielzahl von Industrie- und Forschungsanwendungen. Die Maschine ist in der Lage, Ionen auf ein Energieniveau von 3.000 Volt zu beschleunigen und extrem präzise und reproduzierbare Implantationstiefe, -form, -dosis und -profil zu gewährleisten. Der Implantierer ist mit einem 6-Umlenkgitter ausgestattet, das einen divergenten Ionenstrahl erzeugt, der eine gleichmäßige Dotierung über das Substrat ermöglicht. Dadurch wird sichergestellt, dass die Ionen unter einem konsistenten Winkel entladen werden, was genauere Ergebnisse ermöglicht. SEN NV 10SD-160 verwendet auch eine Heißfilamentkathode, eine Form von Elektronenemitter, die eine höhere Stromdichte im Vergleich zu Thermion- oder Feldemissionskathodensystemen ermöglicht. Diese fortschrittlichen Komponenten sorgen für eine hohe Genauigkeit und eine schnelle Sperrgeschwindigkeit, wodurch sich der Durchsatz erheblich verbessert. Das System enthält auch eine Reihe von erweiterten Funktionen, wie ein Mehrkanal-Elektronen-Monitor und ein Hochfrequenz-Defekt-Monitor. Der Elektronenmonitor ermöglicht die genaue Messung der Abtastraten, während der Defektmonitor Ionen-Ionen-Kollisionen und eventuelle Störungen entlang des Strahlengangs erkennen kann. Das System hat einen modularen Aufbau, der es hochkonfigurierbar macht. Es kann mit einer Vielzahl von Hilfsgeräten integriert werden, um Fernüberwachung und -steuerung sowie Datenerfassung und -visualisierung zu ermöglichen. SUMITOMO EATON NOVA NV10SD-160 ist eine äußerst leistungsfähige und zuverlässige Maschine. Seine fortschrittlichen Komponenten machen es in der Lage, extrem genaue und reproduzierbare Implantationstiefe, Form, Dosis und Profil mit extrem schnellen Sperrgeschwindigkeiten zu liefern, was einen signifikant verbesserten Durchsatz ermöglicht. Es ist hochgradig konfigurierbar, ermöglicht die Integration einer Vielzahl von Komponenten, und seine leistungsfähige Diagnostik macht es für eine Reihe von industriellen und Forschungsanwendungen geeignet.
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