Gebraucht SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-80 #9268769 zu verkaufen
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SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-80 ist ein Ionenimplantator und Überwachungsgerät, das für Anwendungen entwickelt wurde, bei denen Ionen in Materialien wie Halbleiter, Keramik und Gläser implantiert werden. Es verfügt über eine extrem hohe Genauigkeit und Leistung und eignet sich für Anwendungen, die eine ständige Überwachung und genaue Kontrolle von Sub-Mikron-Funktionen erfordern. Das System erzeugt mit Hilfe einer Ionenquelle geladene Atome oder Moleküle, die dann durch ein elektrisches Feld in das Material implantiert werden, was zur Bildung von Mikromerkmalen führt. Anschließend erfolgt die Überwachung, bei der ein Elektronenmikroskop und andere Instrumente zur Messung der Submikron-Merkmale eingesetzt werden. Diese Daten werden dann verwendet, um Implantationsparameter anzupassen und ihre Leistung zu optimieren. SEN NV GSD-80 verfügt über einen Hochleistungs-Ionenimplantator mit einem maximalen Strahlstrom von 80mA und einer festen Strahlenergie von 2.5keV. Es enthält einen X-Y-Manipulator, mit dem der Balken entlang zweier Achsen unabhängig voneinander eingestellt werden kann. Es hat auch eine automatische Wafer-Transporteinheit, die zum Positionieren und Laden von Wafern verwendet wird. Die Monitoreinheit der Maschine verfügt über eine Reihe von Instrumenten und Sensoren, die die Ergebnisse des Implantierungsprozesses messen und überwachen. Es verfügt über ein Elektronenmikroskopwerkzeug zur Untersuchung der Submikron-Merkmale sowie über mehrere Detektoren, einschließlich Faraday-Becher, Photodiodendetektoren und Stoßionisationsdetektoren. Es verfügt auch über eine Strahlsteuereinrichtung, mit der Strahlstrom, Strahlgröße und Strahlposition eingestellt werden können, um die Ergebnisse des Implantationsprozesses zu optimieren. Das Modell enthält auch ein Teilchenmassenspektrometer zur Analyse der Elemente und Isotope des Materials vor und nach der Implantation. Es enthält auch ein energiedispersives Spektrometer zur Analyse der Zusammensetzung von Materialien und anderen chemischen und physikalischen Eigenschaften. Das Gerät ist mit einer digitalen Steuereinheit ausgestattet, mit der der Benutzer die verschiedenen Parameter wie Strahlstrom, Implantationstiefe und Strahlenergie einstellen kann. Es verfügt auch über eine Netzwerkschnittstelle zur Verbindung mit einem Computer und anderen Netzwerken, die den Fernzugriff und die Steuerung des Systems ermöglicht. Insgesamt ist SUMITOMO EATON NOVA NV GSD 80 eine fortschrittliche Einheit zum Implantieren von Ionen in Materialien mit hoher Genauigkeit und Leistung. Es verfügt über einen Hochleistungs-Ionenimplantator, ein Elektronenmikroskop und eine Reihe von Detektoren und Sensoren, die zur Überwachung der Ergebnisse des Implantationsprozesses verwendet werden. Es verfügt auch über eine digitale Steuereinheit zur Einstellung verschiedener Parameter sowie eine Netzwerkschnittstelle, die den Fernzugriff und die Steuerung ermöglicht.
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