Gebraucht SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-A-80 #293637081 zu verkaufen

SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-A-80 ist ein Hochleistungs-Ionenimplantator und -monitor. Es wurde entwickelt, um eine optimale Prozesssteuerung und leistungsstarke Software zu bieten, um höchste Implantationsgenauigkeit, Reproduzierbarkeit und Gleichmäßigkeit zu gewährleisten. Es verfügt über eine Laderaum, mit einer horizontalen Achse, um Be- und Entladen von bis zu 4 Wafern mit einem Roboter-Manipulator zu ermöglichen. Darüber hinaus ist es mit zwei unabhängigen Kammern ausgestattet, um sowohl eine hochenergetische als auch eine niederenergetische Implantation zu erreichen. SEN NV-GSD-A-80 verfügt über ein 3-Achsen-Scan-System, das aus X-, Y- und Z-Achsen besteht, um eine präzise Strahlverteilung und Dosiskontrolle zu gewährleisten, wodurch das Implantat von ultrafeinen Mustern mit hoher Präzision ermöglicht wird. Es ist mit einer beweglichen Strahlachse ausgestattet, die eine einfache Einstellung der Strahlposition für verschiedene Implantationsvorgänge ermöglicht. Das Scan-System ist außerdem mit einer Hochtemperaturheizung ausgestattet, auf der eine Probe auf bis zu 1000 ° C montiert und erwärmt werden kann. SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-A-80 ist mit mehreren Monitorsystemen ausgestattet, um sicherzustellen, dass der Implantationsprozess nach spezifischen Anforderungen durchgeführt wird. Dazu gehören ein Faraday-Ausgangsdetektor, ein Faraday-Bechersensor, eine Quarzkristallmikrowaage, ein Ionenwaagenmonitor und eine Röntgenbremsstrahlung. NV-GSD-A-80 verfügt auch über eine fortschrittliche Software mit einer benutzerfreundlichen Oberfläche, mit der Benutzer den Implantationsprozess in Echtzeit steuern und überwachen können. Die Software besteht aus zahlreichen Funktionen wie der Möglichkeit, Prozessparameter einzurichten, zu überwachen und zu steuern, erweiterte Materialanalysen einzurichten und zu überwachen, auf Rezeptdateien zuzugreifen und Funktionen abzurufen. Abschließend ist SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-A-80 ein fortschrittlicher Ionenimplantator und -monitor, der modernste Prozesskontroll- und Analysefunktionen bietet. Die Ladekammer, das 3-Achsen-Scan-System und mehrere Überwachungssysteme in Verbindung mit der gesteuerten Software geben Benutzern die Flexibilität, den Implantationsprozess genau nach ihren Bedürfnissen anzupassen und zu überwachen.