Gebraucht SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-HE #293603723 zu verkaufen

SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-HE
ID: 293603723
Wafergröße: 6"
Ion implanter, 6".
SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-HE ist ein Ionenimplantator und -monitor der sumitomo corporation. Es ist ein aufwendiger, High-End-Mehrstrahl-Ionen-Implantierer, der mehrere Strahlströme bis zu 2mA (mit 2 Sätzen getrennter Strahlquellen zum Erzielen eines hohen Durchsatzes) und maximaler Energie bis zu 60keV liefern kann. Dieses Modell bietet eine einheitliche Dotierungsverteilung und eine hervorragende Kontrolle, um eine genaue Tiefen- und Standortkontrolle über die Implantatdosis zu ermöglichen. Es ist mit einem 6-Achsen-Bewegungssteuergerät und einem Abtaststrahlstrommonitor ausgestattet, der kleine Auffälligkeiten und Änderungen im Strahlstrom erkennen kann. SEN NV GSD-HE Implantierer verfügt über ein einzigartiges Elektronenkanonen-Design mit einem „facettenreichen“ Spiegelsystem, das ein einheitliches Ionenstrahlprofil liefert, einem „Sektor-für-Sektor“ -Strahlsteuerer, der die Strahlrichtung auch bei Variation des Auftreffwinkels genau kontrolliert. Mit der selbststabilisierenden Funktion der Ionenpistole und der präzisen Strahlliniensteuerung ermöglichen diese fortschrittlichen Geräteparameter extrem wiederholbare Prozesse zur präzisen Dosissteuerung und präzisen Ortungssteuerung. Der Implantationsprozess wird automatisiert, gesteuert durch eine anspruchsvolle Echtzeit-Computermaschine; die Softwarefunktionen, die alle Implantatdatensätze und Programmparameter sowohl für den Betrieb als auch für die Wartung verwalten Darüber hinaus erfolgt die Überwachung innerhalb des gesamten Prozesses durch eine Kombination zahlreicher in der Implantatkammer befindlicher Detektoren mit externen Detektoren, die beide an ein fortgeschrittenes Computersteuerungswerkzeug angeschlossen sind. Darüber hinaus umfasst der Vermögenswert einen speziellen Teilchenbeschleuniger, um erstklassige Ergebnisse mit hochstabilen und gleichmäßigen Strahlen zu gewährleisten. Mit der Hexapol-Ionen-Optik und der digitalen Steuerung von Strahlparametern ist das Ionensteuerungsverfahren und die Energiestabilität des Modells auch bei entsprechenden Prozessanforderungsänderungen gewährleistet. Um Nachhaltigkeit zu gewährleisten und die höchste Qualität des Implantats zu garantieren, wurde SUMITOMO EATON NOVA NV GSD HE Ionenimplantator umfassend von einem globalen industriellen Beratungsgremium nach internationalen Standards getestet und zertifiziert. Der NV GSD HE-Implantierer bietet einen hervorragenden Durchsatz, hohe Produktivität und hohe Präzision durch die fortschrittliche Computersteuerung mit optimaler Strahlausrichtung und maßgeschneiderter Software. Es bietet auch ausgezeichnete Wiederholbarkeit und Betriebssicherheit, Gewährleistung langfristige Nutzung, gesenkte Kosten pro Prozesszyklus.
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