Gebraucht SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-HE #9055205 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9055205
High energy ion implanter, 8"
Currently warehoused
Gas: BF3, PH3
2006 vintage.
SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-HE ist ein Hochgeschwindigkeits-Ionenimplantator und -monitor. Es wurde entwickelt, um eine hochwertige Implantation mit hohem Durchsatz für erhöhte Produktivität zu liefern. Das Gerät verfügt über eine hohe Zuverlässigkeit, stabilen Betrieb, hochauflösende digitale Bildgebung und fortschrittliche Niederenergie-Implantationstechnologie. Es ist in der Lage, eine breite Palette von Ionen zu implantieren, einschließlich Protonen, Bor, Aluminium und Antimon. Es ist auch mit einem hochmodularen Bedienfeld ausgelegt, das eine einfache Bedienung und Steuerung der Implantationsparameter ermöglicht. Das System enthält eine Hochleistungs-Geschützeinheit, die in der Lage ist, hohe Energie, kurze Impulse von Ionen zu erzeugen. Es umfasst auch eine automatisierte Wafer-Handhabungsmaschine, die eine präzise und genaue Manipulation der Lage und Dosis des Implantats auf einzelnen Wafern ermöglicht. Das Überwachungswerkzeug umfasst hochauflösende digitale Bildgebung, die eine präzise Kontrolle über Implantation und Verpackung bietet. Es enthält auch eine Hochleistungs-Magnetlinse, die verwendet wird, um den Ionenstrahl auf das gewünschte Ziel zu fokussieren. Die Anlage ist mit einer Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen konzipiert, die das Potenzial für Geräteschäden minimieren und das Risiko einer Strahlenbelastung reduzieren. Es verfügt über ein Barrier-Modell, das ionisierte Partikel blockiert und absorbiert, um die Strahlungswerte zu reduzieren. Es verfügt auch über eine aktive Reinigungsausrüstung, die Luftkontaminationen aus dem System entfernt. Das Gerät ist auch mit mehreren Schichten von Elektronik und mechanischen Komponenten ausgelegt, um einen zuverlässigen Betrieb zu gewährleisten. SEN NV GSD-HE bietet eine Reihe von Funktionen, die es zu einer idealen Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen machen. Es verfügt über eine hohe Leistungsimplantationsrate, die bis zu 6μA/cm2 erreichen kann, und die Pulsdauer reicht von 10-200ns. Es ist in der Lage, hochqualitative Implantate und hohen Durchsatz mit Produktionszykluszeiten von 1 Sekunde oder weniger bereitzustellen. Es ist auch mit geringem Stromverbrauch ausgelegt und kann mit einem Wirkungsgrad von bis zu 90% arbeiten. Insgesamt ist SUMITOMO EATON NOVA NV GSD HE ein fortschrittlicher Ionenimplantator und -monitor, der entwickelt wurde, um eine hochwertige Implantation und Überwachungsleistung zu bieten. Es bietet eine Reihe von Funktionen, darunter eine hohe Leistungsimplantationsrate, Pulsdauer, geringer Stromverbrauch und Sicherheitsfunktionen, die es zu einer idealen Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen machen.
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