Gebraucht SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-HE3 #9283245 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9283245
Wafergröße: 12"
High energy implanter, 12"
(4) FOUP
Energy Range: 10 KeV to 3750 KeV with RTEM (Real Time Energy Monitoring Capability)
UPS: MUF3051-BL
Mass analysis magnet and power supply
Inject flag faraday
Power supply: 3 kW, 13.56 MHz
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
LIner Accelerator:
(12) High energy resonator cavities
(14) Quadrupole
Quadrupole Lens and power supply
Final energy magnet and power supply
Resolving faraday
Continuous variable aperature
IBM work station
End station wafer handling:
In-air/In-vacuum high throughput wafer handling system
ULPA filtered wafer handling area
Automatic notch alignment capability with buffer cassette
Integrated dummy wafer fill-in capability
Slot to slot wafer integrity
End station disk:
Two axis variable implant angle
(13) Wafers process disk with direct, 12"
End station dose control:
Real time patented dose control
End station robot: SEN MACOROB 300
End station options:
Valved RGA port on end station resolving
Valved RGA port on disk module
Faraday burn through sense
Facilities utilities:
Feed from bottom
Feed gas box exhaust from top
Facilities cables:
Remote cryo pump compressor cable
Rremote disk chiller cable
High voltage beacon
Main PD assembly
Signal tower light assy
(4) Light CE
Fire safety kit smoke detector
VESDA
60 Hz Standard
Gas box exhaust needs to feed from top
High Voltage Warning Display - English
Gas box:
Gas 1 type Gas box gas type position Ar with HP
Gas 2 type Gas box gas type position BF3 with SDS
Gas 3 type Gas box gas type position BF3 with SDS
Gas 4 type Gas box gas type position PH3 with SDS
Gas 5 type Gas box gas type position PH3 with SDS
MFC2 Unit 8160 10 ccm
MFC3 Unit 8162 5 ccm
MFC4 Unit 8162 10 ccm
MFC5 Unit 8162 10 ccm
Remote rack:
SEN chiller
Heater exchange from FAC
Service PC X-terminal
Door Bypass Switch:
Source head: ELS
3-AXIS Extraction electrode:
Vacuum Cryopump CP2 BROOKS OB-8
Vacuum Cryopump CP3 BROOKS OB-10
Vacuum Cryopump CP7 BROOKS OB-250F
Vacuum Cryopump CP8 BROOKS OB-250F
Vacuum STP-2203C TP1
Vacuum STP-A803C TP4
Vacuum STP-A1303C TP5
Vacuum STP-A803C TP10
Vacuum STP-A1303C TP11
Vacuum STP-A803C TP12
Manual included.
SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-HE3 ist eine hochentwickelte Ionen-Implantier- und Überwachungsausrüstung für die Herstellung von Nanostrukturen und die Materialforschung. Die Hauptkomponenten des Systems sind Ionenquellen-, Beschleunigungskammer-, Monitor- und ASIC-Module (Application Specific Integrated Circuit). Die Ionenquelle von SEN NV-GSD-HE3 nutzt eine Dual-Strahl Opti-GSD (Gas Stable Discharge) Quelle, die eine breite Palette von Energieverteilung und Strom bietet. Damit kann der Anwender die Ionenenergieverteilung und den Strom exakt steuern und SUMITOMO EATON NOVA NV GSD-HE3 die ideale Einheit für die Herstellung von Hochleistungs-Nanostrukturen. Die Opti-GSD-Technologie wird durch den Einsatz einer Dual-Monitor-Maschine weiter verbessert, die zusätzliche Informationen über die Quelle liefert. Dies liefert Echtzeit-Feedback in Bezug auf die Quellleistung, wodurch NV zuverlässig und einfach zu bedienen GSD-HE3. NV-GSD-HE3 verfügt auch über eine Beschleunigungskammer mit einem breiten Spektrum variabler Beschleunigungsspannungen, die einen hohen Durchsatz und Flexibilität ermöglicht. Dies ermöglicht die Herstellung hochwertigerer Nanostrukturen mit hoher Präzision. SEN NV GSD-HE3 verfügt auch über einen ASIC (Application Specific Integrated Circuit), der fein abgestimmte Monitor- und Steuerungseinstellungen bietet. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung und Überwachung verschiedener Ionenparameter, einschließlich Strahlgeschwindigkeit, Strahlstrom, Strahlform, Dosisrate und Gesamt-Ionendosis. Diese Technologie macht SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-HE3 zum idealen Werkzeug für Forschung und Entwicklung. Abschließend ist SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV GSD-HE3 die perfekte Bereicherung für Forschung und Entwicklung in der Nanostrukturherstellung und Materialforschung. Es verfügt über eine Dual-Strahl Opti-GSD Ionen-Quelle, die eine breite Palette von Energie und Strom-Spreads bietet, so dass es ideal für die Präzisionsherstellung. Es verfügt auch über eine Reihe von variablen Beschleunigungsspannungen und ein ASIC-Modul zur präzisen Steuerung und Überwachung von Ionenparametern, so dass es vielseitig und zuverlässig ist. Darüber hinaus sorgt sein Monitormodell für Echtzeit-Feedback in Bezug auf die Quellleistung, was die Ausrüstung einfach zu bedienen macht. Insgesamt ist SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-HE3 ein hervorragendes System für die Herstellung von Nanostrukturen und die Materialforschung.
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