Gebraucht SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-180 #9148222 zu verkaufen

SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-180
ID: 9148222
Weinlese: 2000
High current implanter 2000 vintage.
SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-180 ist ein High-End-Ionen-Implantierer und -Monitor für die Halbleiterverarbeitung. Das Gerät verfügt über eine einzigartige Kombination aus Optik und Elektronik, die eine präzise Implantation und eine verringerte thermische Störung von Materialien ermöglicht. Dieses System ist mit fortschrittlichen Software- und Hardwarekomponenten ausgestattet, so dass es während des Betriebs eine extrem hohe Genauigkeit erreicht. SEN NV-GSDIII-180 verwendet eine High Resolution Beam Position Monitor (HRBPM) Technologie für quantitative und genaue Implantation und Überwachung. Mit diesem Monitor ist das Gerät in der Lage, die Implantationsenergiestände, die Zielgeschwindigkeit und die Dosisrate genau zu steuern und so eine hohe Auflösung und wiederholbare Genauigkeit zu gewährleisten. Die Maschine ist auch mit einem sekundären Elektronendetektor (SED) ausgestattet, der eine detaillierte Datenerfassung über die Reaktion verschiedener Materialien auf die Ionenimplantation ermöglicht. SUMITOMO EATON NOVA NV GSDIII 180 wird über eine grafische Benutzeroberfläche (GUI) gesteuert, die ein grafisches Implantat-Tool (GIS) enthält. Dieses GIS ermöglicht es dem Bediener, die Ionenarten, die Geschwindigkeit, den Strahlstrom und andere Variablen voreinzustellen, um Implantationen anzupassen. Weitere Funktionen umfassen computergestützte Bibliothekssuche, Diagnosemonitor, Datenerfassung, Monitor-Datenprotokollierung, Histogramm-Ausgänge und verschiedene voreingestellte kinetische Parameter. Die Anlage ist in der Lage, in verschiedenen Materialien wie Silizium, Galliumarsenid, Siliziumcarbit und Germanium zu implantieren. Es unterstützt auch eine Vielzahl von Konfigurationen, einschließlich Single-Wafer, Multi-Wafer, Batch, doppelseitige und mehrstufige Implantationen. NV GSDIII 180 ist mit einer robusten Edelstahlkonstruktion gebaut und verfügt über Kühlventilatoren, um einen konstanten Betrieb des Modells zu gewährleisten. Es ist mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, einschließlich einer Token-Ring-Verriegelungsausrüstung, einer Strahldeponie und einem integrierten HF-Schild, um die Sicherheit des Bedieners zu gewährleisten. Das System verfügt auch über eine Reihe von Optionen für die Online-Datenanalyse, z. B. ein Radiation Profiling Utility oder ein Network Interface Terminal. Zur weiteren Gewährleistung von Qualität und Konsistenz ist SEN NV GSDIII 180 mit einer ausfallsicheren Beobachtungseinheit ausgestattet, die jeglichen Aufbau von Infiltrationsschutt verhindert und die Kammer sauber hält. Darüber hinaus ermöglicht eine fortschrittliche vakuumdichte Überwachungsmaschine eine genaue Überwachung des Vakuumdrucks im Werkzeug. NV-GSDIII-180 ist ein hochmoderner Ionenimplantator und -monitor, der in der Lage ist, eine hochpräzise und wiederholbare Implantation und Überwachung bereitzustellen. Es ist mit einer Reihe von Funktionen ausgestattet, darunter ein hochauflösender Strahlpositionsmonitor, sekundärer Elektronendetektor, computergestützte Bibliothekssuche und ein grafisches Implantat-Asset. Darüber hinaus sorgen robuste Bauweise und Sicherheitsmerkmale für einen zuverlässigen Betrieb des Modells.
Es liegen noch keine Bewertungen vor