Gebraucht SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-90 #9144805 zu verkaufen

SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-90
ID: 9144805
Wafergröße: 8"
Implanter, 8".
SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-90 ist ein fortschrittlicher Ionenimplantator und -monitor, der zum Implantieren von Ionen in Substrate zur Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Mit den besten Methoden der Teilchenbeschleunigung ist dieses Gerät in der Lage, Ionen bis zu einer Geschwindigkeit von 200 keV (200.000 eV) pro Ladung zu beschleunigen. Dies hilft es bei der Bereitstellung überlegener Dosen von Ionen mit größter Genauigkeit. Die Vorrichtung ist für ihre hohe Verarbeitungsgeschwindigkeit bekannt, da sie Ionen mit einer höheren Wiederholrate implantieren kann, was zu einer erhöhten Produktivität und einer besseren Präzisionsbestimmung der Merkmalsgröße führt. Es verfügt über ein in der Kammer befindliches thermisches Schalungssystem, das eine ausgezeichnete Dosisgleichförmigkeit bietet. Dies hilft bei verbesserter Gerätesteuerung und geringeren Ionenschäden. Das Gerät verfügt über eine neue High-Speed Feature Extraction and Ionization (HFEXI) -Technik, die die Ionenimplantatleistung verbessert und die thermische Aufbau- und Ionenreichweite minimiert. Dies hilft bei der Bereitstellung hoch kontrollierter Dosen von Ionen mit verbessertem Endergebnis. Das Gerät ist in der Lage, bis zu 8 bipolare Elektroden zu steuern und gleichzeitig die Elektronen-Elektronen-Wechselwirkung im Multielektrodensystem zu berücksichtigen. Dies ermöglicht dem Gerät eine bessere Implantationsgeschwindigkeit und bessere Ionenqualität. Das Gerät bietet auch verschiedene Funktionen wie Auto-Modus, Programmgenerierung, Jog-Modus, Datenlogger, Ereignisrekorder, Dosismonitor, Uhr, OCR-Codierungsfunktion, Fernbedienung, Remote-Dateiübertragung, Rezeptverwaltung und Stromunterbrechung. Alle diese Funktionen helfen bei der Bereitstellung einer einfach zu bedienenden, zuverlässigen und genauen Implantationsleistung. Das Gerät verfügt über mehrere Sicherheitsmerkmale wie ein Dreiwege-Verriegelungssystem, Fehleralarm und Nothalt für zusätzliche Sicherheit. Dies überwacht und hält den Implantat in optimaler Funktion. SEN NV GSDIII-90 Implantat und Monitor hat zahlreiche Auszeichnungen wie den Best in Class Award für seine hohe Leistung und Zuverlässigkeit gewonnen. Es ist auch eine gute Wahl für kosteneffiziente, leistungsstarke Implantation für verschiedene Anwendungen. Es bietet eine ausgezeichnete und zuverlässige Plattform für eine breite Palette von Implantationsoperationen.
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