Gebraucht SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-90 #9181903 zu verkaufen

SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-90
ID: 9181903
Wafergröße: 8"
High current ion implanter, 8".
SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-90 Ionenimplantator ist ein Hochleistungsgerät, mit dem ein breites Spektrum von Ionen in einem präzisen Tiefen- und Breitenprofil präzise in ein Substrat implantiert wird. Es wurde entwickelt, um mit einer Reihe von Substraten wie Silizium, Germanium, Galliumarsenid und Diamant zu arbeiten. SEN NV GSDIII-90 kann eine breite Palette von Ionenarten aufnehmen, von Protonen bis Lithium. Es ist auch in der Lage, Ionen in verschiedenen Temperaturen zu implantieren. Dieser Implantierer verwendet eine einzige Beamline-Vakuumausrüstung, die über einen 2-stufigen mechanischen Vakuumverzögerer verfügt. Dieser Verzögerer ermöglicht es den Ionen, mit kontrollierter Geschwindigkeit durch das System zu fahren, und verhindert auch, dass sie sich auf das Zielsubstrat ausbreiten. SUMITOMO EATON NOVA NV GSDIII 90 verfügt über eine hochgenaue Fokussier- und Scaneinheit. Diese Maschine ermöglicht es dem Gerät, während des gesamten Implantationsprozesses eine stabile Strahlintensität und Fokussierung aufrechtzuerhalten. Das Werkzeug ermöglicht es auch, gleichmäßige Ionenimplantationstiefenprofile zu liefern, sowie flache Substrate mit gleichförmigen Dosen über die Waferflächen zu bearbeiten. SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV GSDIII-90 ist mit einer verbesserten Ionenimplantationsüberwachung ausgestattet, die seine Genauigkeit verbessert. Die Operationen des Modells werden von einem Bordcomputer überwacht, der die Betriebsparameter wie Ionenstrom, Spannung, Verweilzeit und Strahlenergie verfolgt. Diese Überwachungsausrüstung hilft auch, Implantatanomalien zu erkennen und zu isolieren, bevor sie die Waferqualität und die Prozessausbeute beeinflussen. Der Computer kann auch verwendet werden, um die Implantationsdaten zur weiteren Analyse zu speichern. SUMITOMO EATON NOVA NV GSDIII-90 ist ein äußerst zuverlässiger und selbstüberwachender Ionenimplantator & Monitor. Es verfügt über Sicherheitsmechanismen, um das Risiko von Unfällen und Störungen aufgrund hoher Radioaktivität zu verringern. Das Gerät wurde gründlich auf Sicherheit, Genauigkeit und Zuverlässigkeit getestet, um sicherzustellen, dass es konstant hochwertige Ergebnisse liefern kann.
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