Gebraucht ULVAC IDZ-8801 #154974 zu verkaufen

ULVAC IDZ-8801 ist ein Ionenimplantator und Überwachungsgerät. Es ist ein multifunktionaler Ionenimplantator, mit dem verschiedene Ionen wie Bor, Phosphor, Arsen, Antimon und Aluminium implantiert werden können. Das System verfügt über eine große Implantatkammer mit einer Kammerableiteinheit zur Verringerung der Ladungskontamination. Dies ermöglicht eine hochpräzise und genaue Ionenimplantation sowohl hinsichtlich der Dickengleichmäßigkeit als auch der Dosiseinstellungen. Es ist für die Handhabung von Schwer-Ionen-Implantaten mit einem Massenbereich von bis zu 56 amu ausgelegt. Der Implantierer weist ferner eine in der Implantatkammer befindliche optische Direktansicht-Maschine auf, die eine Echtzeitsteuerung der Implantatprofile ermöglicht. IDZ-8801 verfügt über ein integriertes Überwachungswerkzeug, das eine Echtzeitmessung der Implantatdosis, Gleichmäßigkeit und Profile ermöglicht. Dazu gehört ein hochempfindlicher Röntgenfluoreszenzdetektor, der aus den Ionen erzeugte Sekundärelektronen und einen Faraday-Becher misst, um den Strahlstrom zu messen, der für eine genaue Dosissteuerung unerlässlich ist. Es bietet auch ein visuelles Bild des emittierten Ions bei hoher Vergrößerung zur Überwachung der Implantatpositionsleistung und der relativen Dosisverteilung, um sicherzustellen, dass die Implantation innerhalb der Spezifikation durchgeführt wird. Die fortschrittliche PFG-Optik (Plasma Focused Ion Gun) von ULVAC IDZ-8801 ermöglicht es Benutzern, ihr Implantatprofil zu modifizieren, um ihre Zielform besser zu kontrollieren. Das Modell profitiert von einem niedrigen Implantatwinkel und computergestützten Blockiergeräten, die den Durchsatz maximieren und den Ertrag des Dienstes erhöhen. Das Ionenimplantat- und Monitorsystem verfügt außerdem über einen erweiterten integrierten End-of-Run-Monitor, der sicherstellt, dass das Implantat innerhalb der Spezifikation platziert wird, wodurch der Durchsatz und die Ausbeute der Einheit optimiert werden. Darüber hinaus verfügt IDZ-8801 über einen Elektronenglasdetektor zur Erkennung von Defekten. Der Elektronenglasdetektor verwendet einen Elektronenstrahl, um Defekte mit hoher Auflösung und Genauigkeit zu erkennen. ULVAC IDZ-8801 bietet eine hohe Flexibilität in Bezug auf Bandplatzierung und Auswahl eines Implantatprofils, wodurch eine größere Kontrolle über das Endprodukt gewährleistet ist. Diese Maschine verfügt auch über eine einfache Software-Bedienung für einfachere Maschinenbedienung und Fernsteuerbarkeit. Darüber hinaus bietet das Tool umfassende Sicherheitsmerkmale, einschließlich Sicherheitsschienen und Vakuumverriegelungen. Darüber hinaus tragen zusätzliche Sicherheitsmerkmale wie alarmierte Türen und Gehäuseschutz dazu bei, ein Höchstmaß an Sicherheit zu gewährleisten.