Gebraucht VARIAN 1000 #9404414 zu verkaufen

VARIAN 1000 ist ein Ionenimplantierer und -monitor, der in der Halbleiterherstellung verwendet wird. Es wird verwendet, um Ionenarten in die Oberfläche des Silizium-Wafer-Substrats zu implantieren, um die gewünschten elektrischen Eigenschaften zu schaffen. 1000 ist ein strahlender, gleichstromiger und gepulster Ionenimplantator mit einer großen Prozesskammer und mehrstufiger Beschleunigung. Die in VARIAN 1000 verwendeten Ionenquellen sind vom Typ Frank-Bodesheim und können Verunreinigungen in Wafer mit einer Mindestlinienbreite von 1um einführen. Während der Lieferung wird der Balken gelenkt und geformt; 1000 unterstützt ausgerichtetes Scannen, Ionenmodulation, Energiemodulation und gesamten Ionenstrom im gleichen Waferlauf. VARIAN 1000 wurde entwickelt, um hohe Strahlstrom, hohe Ladung zu Masse Verhältnisse und Langzeitbetrieb bei Temperaturen bis 300 ° C zur Verfügung zu stellen. Der Implantierer verfügt über eine kryogene Kühlausrüstung, die einen effizienten Betrieb der Quelle und des Ziels ermöglicht; dies hilft, das Wafermaterial vor thermischen Schäden zu schützen. Seine computergesteuerten Prozesse werden über eine Windows-basierte Oberfläche mit benutzerfreundlichen Einrichtungs-, Steuerungs- und Datenerfassungstools überwacht. Das übernommene Bildanalyse- und Kontrollsystem ermöglicht eine Echtzeitüberwachung der Prozessergebnisse, wobei die maximalen Auflösungen der aufgenommenen Bilder 0,1 Mikrometer erreichen. 1000 enthält auch eine digitale Strahlüberwachungseinheit, um Strahlstrom, Position und Seitenverhältnis genau zu messen. Dies geschieht durch eine doppelte Emissionsüberwachungsmaschine, mit Monitoren an Punkten der vollen Strahlüberlappung und Positionen der minimalen Strahlintensität platziert. Insgesamt ist VARIAN 1000 ein fortschrittlicher Ionen-Implantierer und -Monitor, der mit seinen hochauflösenden Videokameras und umfangreichen Datenerfassungsfunktionen für die industrielle Produktion geeignet ist. Es kann Unternehmen Zeit und Ressourcen in ihren Chip-Fertigungsprozessen sparen, ohne auf Qualität oder Leistung zu verzichten.