Gebraucht VARIAN 120XP #293592859 zu verkaufen

ID: 293592859
Weinlese: 1989
High current ion implanter, 6" 1989 vintage.
VARIAN 120XP ist ein von VARIAN Semiconductor Equipment Associates, Inc. Das Gerät besteht aus zwei Komponenten, dem Ionenimplantator und dem Monitor. Der Ionenimplantator verwendet energetische Ionenstrahlen, um Materialbereiche dicht in ein Zielsubstrat zu implantieren. Es arbeitet in einem Rasterscanmuster, das hochpräzise kontrollierte Implantationsbereiche ermöglicht. Der Monitor soll Daten aus dem Implantationsprozess messen, aufzeichnen und analysieren, um optimale Ergebnisse zu gewährleisten. VARIAN 120 XP ist für den Einsatz in der Halbleiterindustrie für dynamische kritische Geräteanwendungen konzipiert. Es bietet mehrere Merkmale, die es besonders nützlich für die Ionenimplantation machen, einschließlich eines großen Arbeitsbereichs, einer leistungsstarken Strahlsteuerelektrode und einer Hochleistungs-Ätzkammer. Darüber hinaus ist das System mit einer Vielzahl von Implantatquellenmaterialien wie Bor, Phosphor, Arsen und Antimon kompatibel. Die optimierte Strahlspreizung ermöglicht auch die präzise Platzierung von Implantaten auf großen Substraten. 120XP verfügt über eine fortschrittliche Überwachungseinheit, um sicherzustellen, dass Implantate genau und präzise durchgeführt werden. Es ist mit zwei getrennten Bedienfeldern - eines für den Monitor und eines für den Implantierer - ausgestattet, die die Parameter des Strahls während der Implantation messen. Dazu gehören unter anderem der Strahlstrom, die Energiefluenz, der Einfallswinkel und der Energiebereich während des Implantatprozesses. Darüber hinaus sind Implantierer und Monitore so ausgelegt, dass sie automatisch pausieren, wenn Unregelmäßigkeiten beobachtet werden, sodass bei Bedarf schnell und einfach Korrekturen vorgenommen werden können. 120 XP nutzt auch fortschrittliche Sicherheitsverfahren. Die Maschine ist so sicher wie möglich konzipiert, wobei alle Mitarbeiter das Werkzeug viel weiter vom Strahl entfernt halten müssen als viele andere Ionenimplantatoren. Zusätzlich ist die Kammer selbst aus hochstrahlungsgeschirmten Materialien zum Schutz des Personals vor gefährlichen Strahlungsemissionen aufgebaut. Insgesamt ist VARIAN 120XP eine fortschrittliche und hochfähige Ionenimplantationsanlage, die für den Einsatz bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Es verfügt über eine Reihe von Funktionen, die es besonders nützlich für hochpräzise Geräte-Implantate machen, einschließlich einer Hochleistungsstrahl-Steuerelektrode, einem großen Arbeitsbereich und einem fortschrittlichen Überwachungsmodell. Darüber hinaus ist seine Konstruktion sehr sicher und effizient, so dass es eine wünschenswerte Option für hochwertige Produktion.
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