Gebraucht VARIAN 1500 #9404415 zu verkaufen

VARIAN 1500 ist ein Hochspannungs-, Hochstrom-, Hochauflösungs-Ionenimplantat- und Monitorgerät, das für die größten und anspruchsvollsten Ionenimplantationsanforderungen entwickelt wurde. 1500 ist in der Lage, Dosen von bis zu 7.51014 Ionen/cm2 zu erreichen und bietet eine breite Palette von Dosisbereichen sowie eine hohe Implantationsgenauigkeit und Wiederholbarkeit. Es verfügt über ein 16-Wege-Wafer-Futter, das mit einem 4 „Quad Chuck kombiniert werden kann, um eine bis zu 8“ -Wafer-Implantation zu erreichen. Es verfügt über einen sehr großen flächigen einheitlichen Elektronenstrahl, um Kontaminationen zu vermeiden und eine Strahlverengung zu minimieren, die die Dosisgleichförmigkeit verringern kann. VARIAN 1500 enthält eine Reihe von Funktionen, um seine Fähigkeiten zu verbessern. Dazu gehört eine Datenerfassungssoftware, mit der Benutzer das System steuern, überwachen und diagnostizieren können. Die Echtzeit-Überwachung der Position und Rotation des Wafers gewährleistet genaue Implantate sowie seine Fähigkeit, bis zu 1024 Rezepte zu speichern und auszuführen. Es verfügt über ein integriertes Planarisierungsmodul zur Verbesserung der Leitfähigkeit sowie eine aktive Chip-Out-Führungseinheit zur optimalen Waferkantenschneidung. Die Monitormaschine bietet Anwendern auch eine klare Sicht auf die Probe während der Implantation, mit der Fähigkeit, Linien oder Kreise auf dem Bild zu zeichnen, um den Strahl genau zu führen. 1500 kann mit einer Auswahl von VARIAN-Hilfssystemen integriert werden, um den Betrieb weiter zu verbessern. Dazu gehört das Real-Time Feedback Tool, das Strahldrift während der Implantation besser erkennen und korrigieren kann als Standardsysteme, das Focus Tuning Asset, mit dem Benutzer den Fokus der Strahlkante feinabstimmen können, und das Contamination Monitor Model für eine verbesserte Vakuumausrüstungsleistung. Es kann auch mit VARIAN Dose Corrector System integriert werden, um eine genaue Dosisabgabe unabhängig von den Betriebsbedingungen zu gewährleisten. Insgesamt ist VARIAN 1500 eine ausgezeichnete Wahl für große Ionenimplantationsanforderungen. Sein leistungsstarker Strahl, sein großer Dosisbereich und seine Reihe integrierter Hilfssysteme machen ihn ideal für den Einsatz in der Produktion, Forschung und Entwicklung fortschrittlicher Halbleitermaterialien. Seine einfache Bedienung und flexible Konfiguration sorgen für optimale Leistung für jede Ionenimplantationsaufgabe.