Gebraucht VARIAN 160XP #9130946 zu verkaufen

VARIAN 160XP ist ein Hochleistungs-Ionen-Implantierer und -Monitor, der sich für großvolumige Anwendungen in der Halbleiterherstellung eignet. Es verwendet eine Mischsilizium-Nitrid-Strahltechnologie, um maximale Genauigkeit und Partikelkontrolle beim Implantieren von Ionen in einem Wafersubstrat zu gewährleisten. VARIAN 160 XP verwendet ein Echtzeit-Regelsystem, um Qualität und Genauigkeit während des Implantationsprozesses zu gewährleisten. Dieses System überwacht Strahlprofil, Ladezustand, Strahlstrom und Energie für jeden einzelnen Schuss des Wafers und wird Parameter ändern ist notwendig, um die Genauigkeit während des Implantationszyklus zu halten. 160XP können Probensubstrate im Bereich von 100 bis 400 mm Durchmesser handhaben und so programmiert werden, dass sie eine Hochdurchsatz-Implantationsbearbeitung auf mehreren Substraten gleichzeitig durchführen. Mit einem Mittelstrom-Implantierer ist es in der Lage, Strahlflussraten bis zu 4,5x1012 Ionen/qcm/sec mit präziser Steuerung und Genauigkeit zu liefern. Sein breites Spektrum an Strahlenergieeinstellungen ermöglicht es, flache Substrate und schwerere Dotierstoffe gleichzeitig zu implantieren. Der hohe Wirkungsgrad der Strahltechnologie bietet erhebliche Kosteneinsparungen sowie eine verbesserte Strahlkonsistenz und Zuverlässigkeit. 160 XP bietet auch eine Reihe von Überwachungs- und Steuerungskomponenten wie Partikelbildgebung, Strahlstrommessung, Strahlenergiemonitor und Substrattemperaturregelung. Es verfügt auch über eine digitale Anzeige für Temperatur- und Verzögerungsspannungsmessungen. Darüber hinaus verfügt VARIAN 160XP über ausfallsichere Systeme zum Schutz vor fehlerhaften Strahlstromänderungen, die zu falschen Implantationsergebnissen führen können. Insgesamt ist VARIAN 160 XP ein fortschrittlicher Ionenimplantator und Monitor, der präzise, präzise und zuverlässige Implantationsergebnisse liefert. Es ist perfekt für Serienanwendungen in der Halbleiterherstellung, und seine Überwachungsfähigkeit sorgt für genaue Ergebnisse mit weniger Defekten. Dank seiner hocheffizienten Strahltechnologie können 160XP Kosteneinsparungen und verbesserte Leistung für jede Produktionslinie bieten.