Gebraucht VARIAN 160XP #9143121 zu verkaufen

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VARIAN 160XP
Verkauft
ID: 9143121
Wafergröße: 6"
High current implanter 6" Process : IMPL-HC-9.
VARIAN 160XP ist ein Ionenimplantator und Überwachungsgerät, mit dem Ionen verschiedener Materialien in ein Substratmaterial implantiert werden. Dieses System ist in der Lage, Materialien wie Lithium, Bor, Phosphor, Arsen und andere Materialien in Substrate wie Silizium, Gallium-Arsenid und andere Materialien zu implantieren. Diese Einheit ist ein hochdosierter Implantator und kann mit einer Dosisrate von bis zu 450K Ionen/cm ^ 2/sec implantieren. Die maximale Fluenz (Gesamtmenge der Ionenimplantation), die erreicht werden kann, ist 6.5E13 Ionen/cm ^ 2. Die Maschine kann auch die Anordnung der Ionenstrahlen mit ihrem Strahlregelwerkzeug steuern, das aus einem Wafertransportgut und einem Strahlregelungsmodell besteht. Die Wafertransporteinrichtung verwendet eine stationäre Ionenquelle, die dann von der Strahlregulierung bewegt und gedreht wird. Die Strahlreguliereinheit auf VARIAN 160 XP kann bis zu + - 50 Grad rotieren und den Strahl in einem Abstand von bis zu 40 cm von der Quelle fokussieren und formen. Neben der Implantation umfasst die Maschine auch mehrere Monitorsysteme, mit denen der Implantationsprozess und die Qualität des implantierten Materials überwacht werden können. Dieses Tool umfasst eine Reihe von Detektoren wie ein Photodioden-Array zur Tiefenauflösung von bis zu 6,0 nm, einen Faraday-Cup zur Ionenstrommessung und ein Secondary Ion Mass Spectrometer (SIMS) zur Diffusionskoeffizientenmessung. Alle diese Detektoren können verwendet werden, um eine hochwertige Implantation zu gewährleisten. 160XP enthält auch eine benutzerfreundliche Benutzeroberfläche, mit der Benutzer das Asset einfach konfigurieren und verschiedene Parameter einrichten können, um Implantationsparameter für verschiedene Substratmaterialien und Ionentypen zu optimieren. Das Modell enthält auch ein sehr gut dokumentiertes Kalibrier- und Wartungshandbuch, um die ordnungsgemäße Funktion der Ausrüstung während ihrer gesamten Lebensdauer zu gewährleisten. Abschließend ist 160 XP eine ausgezeichnete Wahl für Anwender, die ein hochwertiges Ionenimplantationssystem benötigen. Es ist in der Lage, eine Implantationsdosis von bis zu 450K Ionen/cm ^ 2/sec bereitzustellen, und seine Implantationsfähigkeiten können leicht für verschiedene Substratmaterialien und Ionentypen angepasst und optimiert werden. Es enthält eine Reihe von Detektoren zur Überwachung der Implantations- und Diffusionskoeffizienten des implantierten Materials, und seine benutzerfreundliche Schnittstelle ermöglicht eine schnelle Konfiguration der Einheit. VARIAN 160XP ist daher eine ideale Wahl für Anwender, die eine zuverlässige und hochwertige Ionenimplantations- und Monitormaschine benötigen.
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