Gebraucht VARIAN 160XP #9182285 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9182285
Wafergröße: 4"
High current implanter, 4"
Can be converted to 6"
Maximum beam current: 10 Ma
Implant angle: 7°
RLS Wafer exchange system
(4) Gases:
Phosphine
Arsine
Boron & argon.
VARIAN 160XP ist ein fortschrittlicher Ionenimplantator und Monitor, der speziell entwickelt wurde, um eine Reihe verschiedener ionischer Spezies in festen Materialien abzulegen. Dies macht das Gerät ideal für Anwendungen wie Halbleiterverarbeitung, Mikroelektronik-Forschung und Lithographie. Mit seinen vielseitigen und fortschrittlichen Funktionen ist VARIAN 160 XP eine gute Wahl für Anwendungen, die eine genaue und präzise Ionenimplantation erfordern. Mit einer präzisen und zuverlässigen Strahlformungsoptik ermöglicht 160XP die Abscheidung von ionischen Spezies mit einem breiten Energiebereich und einer minimalen Energieausbreitung. Dies bedeutet, dass Benutzer die Strahlfokussierungsmechanismen des Geräts leicht einstellen können, um sicherzustellen, dass die Spezies im genauen Energiebereich implantiert wird. Außerdem ist 160 XP ein hocheffizienter Implantierer, der im gepulsten oder kontinuierlichen Betrieb arbeiten kann. Durch die Möglichkeit, das Gerät im gepulsten Modus zu betreiben, kann der Implantierer die Gesamtstrahlzeit reduzieren, wodurch die Dosisrate effektiv gesenkt und der Gesamtstrahlenergieverbrauch verringert wird. Dies hilft, Zeit und Energie zu sparen. Das Strahlüberwachungssystem VARIAN 160XP gewährleistet zudem seine Genauigkeit in Bezug auf Dosis- und Strahlstabilität. Es besteht aus einem sechsachsigen Strahlwinkelmonitor, neben einem weiträumigen Strahlprofilmonitor. Erstere messen sowohl hinsichtlich der Querbewegung als auch der Sollstrahllage Winkelschwankungen, während letztere die Strahlprofilcharakteristik prüft. Der Implantierer enthält auch erweiterte Sicherheitsfunktionen zum Schutz vor strahlenbedingten Unfällen, die auftreten können. Solche Merkmale umfassen Strahlverriegelungen, Strahlintensitätsüberwachungen und Dosisgeschwindigkeitsüberwachungen. Diese Monitore verhindern, dass Benutzer unbeabsichtigt überdruckten Strahlen oder Feldern ausgesetzt sind, was dazu beiträgt, ihre Sicherheit zu gewährleisten. Insgesamt ist VARIAN 160 XP ein fortschrittlicher Ionenimplantator und Monitor, der zur Präzisionsimplantation einer Reihe von ionischen Spezies eingesetzt werden kann. Mit seiner präzisen und effizienten Bedienung ist es ein ideales Werkzeug für die Mikroelektronik-Forschung und Halbleiterverarbeitung. Darüber hinaus machen seine Sicherheitsmerkmale es zu einer zuverlässigen und zuverlässigen Wahl für Benutzer.
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