Gebraucht VARIAN 160XP #9275791 zu verkaufen
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ID: 9275791
Weinlese: 1992
High current ion implanter
(4) CTI-CRYOGENICS Compressors
CTI-CRYOGENICS Cryo-Torr-8 Chamber cryo pump
EDWARDS Source dry pump
VARIAN Diffusion beam-line dry pump
EDWARDS Rough pump
VECTOR TECHNOLOGY Scrubber
Power supply: 208 V, 5 Wires, 3 Phase
1992 vintage.
VARIAN 160XP ist eine High-End-Ionen-Implantat- und Überwachungsanlage, die Herstellern ein zuverlässiges und robustes Mittel zum Implantieren von Ionen in Substrate bietet. Es ist ein vollautomatisches, computergesteuertes System, das bis zu 10 kHz Implantationsraten und eine Strahlstrommessgenauigkeit von 1% aufweist. Damit ist es die perfekte Wahl für die hohe Präzision und Wiederholbarkeit, die in der Halbleiterherstellung benötigt wird. Das Gerät ist mit einem leichten Design entworfen, um eine platzsparende Lösung zu bieten, und es verfügt auch über eine ergonomische Workstation für maximale Effizienz und Komfort. Zu den Kernkomponenten der Maschine gehört die Vorverstärkungseinrichtung, die für die genaue Steuerung der Größe und Richtung des Implantationsstroms verantwortlich ist; einen hochpräzisen Strahlenergiemonitor, der zur Überwachung der Implantationsenergie des Strahls verwendet wird; und einen dedizierten Ionenfilter, der für die Entfernung unnötiger Ionen aus dem Werkzeug verantwortlich ist. Die gesamte Anlage wurde entwickelt, um das Risiko von Strahlenaustritt zu minimieren und eine sichere Arbeitsumgebung für diejenigen zu gewährleisten, die sie verwenden. Das Modell bietet auch eine Vielzahl von Präzisionstechnik-Optionen, wie die Fähigkeit, Neigungswinkel zu spezifizieren, mehrstufige Implantationsprozesse und computergesteuerte Dosisanpassung. Das Gerät ist auch in der Lage, zwischen verschiedenen Arten von Ionen zu wechseln und die Implantation auf mehrere Materialien durchzuführen, so dass mehr Kontrolle und Flexibilität im Produktionsprozess möglich ist. Darüber hinaus ist das System mit einem hohen Automatisierungsgrad ausgelegt, wodurch es einfach zu bedienen ist und der Bedarf an manueller Eingabe reduziert wird. Für zusätzliche Sicherheit verfügt VARIAN 160 XP über ein erweitertes Sicherheitsprotokoll, das sicherstellt, dass keine unnötige Strahlung aus dem Gerät freigesetzt wird und die Kontamination auf ein Minimum beschränkt wird. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine umfassende Diagnoseserie und Online-Unterstützung, die es Anwendern ermöglicht, das Tool zu überwachen und bei Bedarf Unterstützung zu erhalten. Insgesamt ist 160XP ein High-End-Ionen-Implantierer und Monitoring-Asset, das Herstellern einen zuverlässigen und robusten Prozess zum Implantieren von Ionen in Substrate bietet. Das Modell bietet eine Reihe von Präzisionstechnikoptionen und ist mit einem hohen Automatisierungsgrad ausgelegt, wodurch es einfach zu bedienen ist und der Bedarf an manueller Eingabe reduziert wird. Es verfügt auch über ein fortschrittliches Sicherheitsprotokoll, um eine sichere Arbeitsumgebung zu gewährleisten und das Risiko von Strahlenaustritt zu verringern.
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