Gebraucht VARIAN 250 Plus #293672534 zu verkaufen
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VARIAN 250 Plus ist eine fortschrittliche Ionen-Implantier- und Monitor-Ausrüstung für den Einsatz in Halbleiterbauelement-Fertigungsprozessen. Es verfügt über eine hohe Dosimetrie-Genauigkeit und eine breite Palette von einstellbaren Parametern zur präzisen Steuerung der Implantation. Das System ist in der Lage, mehrere Ionen und Materialien zu implantieren, einschließlich Bor, Arsen und Phosphorionen. 250 Plus nutzt eine elektrostatische Beschleunigereinheit mit einer energiereichen Strahllinie und einer einachsigen Kehrstrecke. Diese Technologie stellt sicher, dass jede Implantation genau auf einen bestimmten Bereich des Wafers ausgerichtet ist, wodurch eine genaue Dosimetrie und eine gleichmäßige Implantationstiefe gewährleistet ist. Die Maschine verfügt über Hochspannungs-, Off-Axis-Triodenstrahl Fokussierung, die potentielle Partikelstreuung reduziert, um sicherzustellen, dass die Dosis gleichmäßig zugeführt wird. Das Tool ist auch mit fortschrittlichen digitalen Ionensensoren ausgestattet, die einzelne Ionenartendichten sofort messen. Die Anlage ist in der Lage, mit einer Reihe von Substratmaterialien zu arbeiten, darunter Natronkalkglas, Germanium, Galliumarsenid und Titannitrid. Darüber hinaus verfügt das Modell über einstellbare Ionenenergieniveaus von einigen Kiloelektronenvolt bis zu mehreren hundert Kiloelektronenvolt. Das Gerät kann auch für mehrere Implantationsschritte in einem Zyklus verwendet werden. Das System ist auch mit einer Hochgeschwindigkeits-computergesteuerten Monitoreinheit ausgestattet, die den Strom und die Spannung des überwachten Ions misst und eine genaue Überwachung und Kontrolle der Implantationsbedingungen ermöglicht. VARIAN 250 Plus Monitor ermöglicht auch eine präzise Steuerung von Strahlstrom, Energie und Neigungswinkel, und der Implantationsstrom und die Spannung sind in einem weiten Bereich einstellbar. Darüber hinaus verfügt der Monitor über eine verbesserte digitale Schnittstelle, die eine verbesserte Bedienerschnittstelle und Kommunikationseffizienz ermöglicht. 250 Plus ist eine zuverlässige und fortschrittliche Implantationsmaschine, die in einer Vielzahl von Geräteherstellungsprozessen eingesetzt werden kann. Es zeigt hohe dosimetry Genauigkeit, regulierbare Parameter, vielfache Ionsimplantate und ein Hochleistungsmonitorwerkzeug. Dieser Vorteil ist eine zuverlässige Option für eine effiziente Implantation und zuverlässige Geräteherstellung.
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