Gebraucht VARIAN 300XP #293830781 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
VARIAN 300XP ist ein hochpräziser Ionenimplantator und Monitor, der von VARIAN Semiconductor Equipment Associates entwickelt und hergestellt wurde. Es ist für den Einsatz in der Halbleiterherstellung und Forschungs- und Entwicklungsanwendungen konzipiert. VARIAN 300 XP ist ein hochzuverlässiger Hochleistungs-Implantierer mit ausgezeichneter Dosisgleichmäßigkeit, Stabilität und maximalem Strahlstrom. 300XP arbeitet, indem ein Ionenstrahl auf ein Zielmaterial übertragen wird. Die Ionen werden durch eine Hochspannungsversorgung beschleunigt, wodurch ein Ionenstrahl mit einer vorgegebenen Energie- und Dosisrate entsteht. Der Ionenstrahl wird dann über die Zielmaterialoberfläche abgetastet und implantiert die Ionen in das Material. Der Strahl kann entweder in einem geradlinigen (Gerade), Raster-, Spiral- oder Hin und Her-Muster bewegt werden, wobei ein gescannter Bereich durch die Größe des Ziels, physikalische Maskenmuster oder Softwareprogramme bestimmt wird. 300 XP kann auch für eine breite Palette von Ionenenergien von 10-150 keV konfiguriert werden, abhängig von der gewünschten Implantationstiefe. Der Strahlstrom kann über einen Bereich von 5-50 mA eingestellt werden, um eine gleichmäßige Dosisverteilung zu erzielen oder Änderungen der Absorptionsrate des Zielmaterials aufzunehmen. VARIAN 300XP verwendet auch eine Reihe anderer Ionenstrahlmodifizierungstechniken wie Massenenergie Binning und Energiespektrumscannen, die die resultierenden Dosen gleichmäßiger machen. VARIAN 300 XP enthält ein fortschrittliches Monitorsystem, das mit einer Sensorelektrode die genaue Position, Spannung und den Strom des Ionenstrahls während der Implantation verfolgt. Dieses Überwachungssystem liefert eine visuelle Rückmeldung in Echtzeit an den Bediener auf einem Videomonitor, so dass die genauen Koordinaten der Strahlposition und der Stromausgabe des Strahls ständig überprüft werden können. Das Monitorsystem sorgt auch dafür, dass die verwendete Dosisrate während des Implantationsprozesses ständig in akzeptablen Grenzen gehalten wird. 300XP ist ein zuverlässiger, hochpräziser Ionenimplantator, der außergewöhnliche Gleichmäßigkeit, Stabilität und maximalen Strahlstrom bietet. Dies macht 300 XP zu einer idealen Wahl für Halbleiterherstellung und Forschungs- und Entwicklungsanwendungen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor