Gebraucht VARIAN 300XP #9103077 zu verkaufen

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VARIAN 300XP
Verkauft
ID: 9103077
Wafergröße: 8"
Implanter, 8".
VARIAN 300XP Ionenimplantator und Monitor ist eine fortschrittliche Technologie, die Anwendern eine zuverlässige Lösung für die Implantation von Verunreinigungen in einkristalline Substrate bietet, um die Leistung zu verbessern. Dieser Ionenimplantator verfügt über eine unübertroffene Kontrolle der Implantatparameter, mit der Fähigkeit, Vorspannung, Strahlfleckintensität und Dosisdauer dynamisch zu variieren. VARIAN 300 XP verwendet einen Hochstrom-Pulsmodusstrahl zur Übertragung energetischer Atomarten und ist mit einer ausgeklügelten stationären Ionenquelle sowie einer Strahllenk- und Formungsoptik ausgestattet. Die Geräte können an verschiedene Konfigurationen angepasst werden, wie z.B. In-situ-Gasreinigung mit Plasmaasche, Nachfüllimplantat und Gas- oder Flüssigkeitsdiffusion. 300XP verwendet ein robustes, leistungsstarkes Strahloptikdesign, das einen genauen Strahlfokus von bis zu 8 Mikrometer Punktgröße und ausgezeichnete Gleichmäßigkeit ermöglicht. Dies ermöglicht beschleunigte Implantat-Dotierungsprozesse und einen Hochtreue-Implantat-Prozess. Darüber hinaus verfügt das System über eine konfigurierbare Ausrichtungstransformation, die komplizierte Implantatmuster und Ausrichtungenauigkeiten ermöglicht. Darüber hinaus ist 300 XP mit einer Inline-Faraday-Becherüberwachungseinheit ausgestattet, die den Ionenstrahl während der Implantation überwacht und präzise und wiederholbare Implantate gewährleistet. VARIAN 300XP bietet auch eine Reihe von anpassbaren Sicherheitsoptionen, einschließlich Drucksperren, um eine versehentliche Exposition gegenüber geladenen Partikeln zu verhindern. Ebenfalls enthalten ist eine magnetische Verriegelungsmaschine (MIS), die den Strahl herunterfährt, wenn sie magnetische Störungen erfasst. Diese Funktion gewährleistet die Integrität der Leistung des Werkzeugs und die Sicherheit seiner Bediener. Um die Wiederholbarkeit der Prozesse zu gewährleisten, bietet das Asset eine automatisierte Prozesskompensation, einschließlich Dosimetrie, Stromüberwachung, Substratdatensammlung und Substratbewegungskompensation. Dies hilft, die Lieferung einheitlicher, wiederholbarer Dotierungsprofile zu gewährleisten. Das Modell bietet auch erweiterte Betriebsmodi wie Vollbereichsnavigation, Einstiegsprogrammierung, Makroprogrammierung und Stapelverarbeitung. VARIAN 300 XP ist eine äußerst zuverlässige und kostengünstige Lösung für die Ionenimplantation. Die Ausrüstung ist für einfache Integration und Bedienung konzipiert und bietet eine ausgezeichnete Kontrolle, Wiederholbarkeit und Sicherheit. Mit all diesen erweiterten Funktionen ist 300XP eine ausgezeichnete Wahl für jede Ionenimplantationsanwendung.
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