Gebraucht VARIAN 300XP #9161390 zu verkaufen

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ID: 9161390
Implanter.
VARIAN 300XP ist ein Partikelimplantator und Monitor, der Ionen in ein Halbleitersubstrat mit extrem präziser Steuerung implantieren kann. Es hat eine breite Palette von Anwendungen, einschließlich der Herstellung von Mikrochips, das Ätzen von Keramik- und Metalloberflächen und die Herstellung von Dünnschichtbeschichtungen. VARIAN 300 XP ist in der Lage, Ionen verschiedener Typen mit unterschiedlichen Energien und Dosen zu implantieren, so dass sie für eine Vielzahl von Anwendungen verwendet werden können. 300XP ist eine physikalisch kompakte Ausrüstung, die ein Teilchenbeschleunigungsrohr, eine Zielkammer und einen Implantierkopf mit zugehörigen Mess- und Steuerungsmöglichkeiten umfasst. Das Teilchenbeschleunigungsrohr ist dazu ausgelegt, einen Ionenstrahl auf ein vorgegebenes Energieniveau zu beschleunigen. Sobald der Strahl beschleunigt ist, wird er mit asymmetrischen Magnetfeldern fokussiert und trifft auf das Ziel in der Zielkammer. Die Größe der Dosis und Energie der Ionen kann genau eingestellt werden und die Dosisrate kann auch entsprechend den Anforderungen der Anwendung eingestellt werden. Der Implantatkopf von 300 XP ist für die Ausrichtung der Partikelstrahlen auf die Probe verantwortlich. Es besteht aus einer Reihe von elektrostatischen Linsen, die die Form und Intensität des Ionenstrahls steuern. Darüber hinaus umfasst der Implantatkopf auch ein Mikroskop und einen Strahlprofiler, der eine genauere Positionierung während der Implantation ermöglicht. Die Detektoren im vor- und nachgeschalteten Bereich des Kopfes ermöglichen eine präzise Überwachung der Partikelstrahlen. Sobald die Dosisrate und die Energie der Ionen bestimmt sind, ist die Implantation fertig zu beginnen. Die Dosis wird durch die eingebettete Steuerung am Gerät eingestellt und eine Probe in das System eingesetzt. Die Regler ermöglichen eine genaue Kontrolle der der Probe zugeführten Dosis und der Implantatkopf steuert die Position des Strahls. Während des Implantationsprozesses wird der Strahl von den Detektoren in Echtzeit überwacht und rückgekoppelt. Am Ende des Implantationsprozesses wird die Probe aus der Einheit entnommen und die ihr zugeführte Dosis gemessen und analysiert, um die Qualität der Implantation zu bestimmen. Nach erfolgreichem Abschluss der Implantate können mit VARIAN 300XP weitere Nachimplantationsprozesse wie Band- und Glühoperationen durchgeführt werden. VARIAN 300 XP ist eine zuverlässige und vielseitige Implantier- und Monitormaschine, die hohe Genauigkeit und Präzision erreichen kann. Der modulare Aufbau ermöglicht den einfachen Einsatz in einer Vielzahl von Anwendungen und bietet ein hohes Maß an Kontrolle und Flexibilität. Mit seinem breiten Spektrum an Funktionen und zuverlässiger Leistung ist 300XP eine ideale Wahl für Forscher und Wissenschaftler, die Ionenimplantationsoperationen mit Präzision und Effizienz durchführen möchten.
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