Gebraucht VARIAN 300XP #9236850 zu verkaufen

VARIAN 300XP
ID: 9236850
Wafergröße: 6"
Ion implanter, 6".
VARIAN 300XP Ionenimplantator ist ein Gerät zur Implantation von Ionen in Halbleiterscheiben. VARIAN 300 XP ist ein produktionstaugliches Implantationssystem, das sowohl Ga als auch As-Ionen in Halbleiterscheiben implantieren kann. Der Ionenimplantator und der Monitor implantieren Ionen mit einer kontinuierlichen Ionenquelle in die Wafer, die dann vom Ionenimplantator überwacht und überwacht werden. 300XP ist in der Lage, Ionen an spezifischen Energien mit einem breiten Energiebereich von 5 keV bis 10 MeV zu liefern. Es hat eine minimale Strahlfleckengröße von 1,5 mm und eine maximale Strahlfleckengröße von 15 mm. Außerdem weist sie eine Plasmaquelle zum Ätzen dünner Filme und eine Vakuum-Thermoverdampfungsquelle zum Abscheiden von Metallfilmen auf. 300 XP verfügt über einen Vakuummonitor und einen Regler, mit dem die Temperaturen und Drücke der im Implantationsprozess verwendeten Gase überwacht und ein sicherer Systembetrieb gewährleistet wird. Es verfügt außerdem über einen Energiemonitor zur Messung der Energiemenge, die die Ionen dem Halbleitermaterial verleihen. VARIAN 300XP kann programmiert werden, um die Parameter Implantat und E-Strahl zu ändern. Dadurch kann der Anwender die Implantation für seinen gewünschten Prozess individuell gestalten. Der Benutzer kann auch Steuerparameter wie Strombegrenzung und Energiesteuerung einrichten. VARIAN 300 XP ist ein zuverlässiger und effizienter Ionenimplantator. Es hat eine gute Ausbeute und eine konstante Strahlfleckengröße. Seine Sicherheitsmerkmale gewährleisten einen sicheren Betrieb des Systems und die einstellbaren Parameter ermöglichen es dem Benutzer, die Implantation an seine Bedürfnisse anzupassen.
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