Gebraucht VARIAN 345 #9064802 zu verkaufen
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ID: 9064802
UV/VIS Spectrophotometer
Wavelength: 190 to 365 nm
Bandwidth: 6 nm
Wavelength accuracy: 1.0 nm.
VARIAN 345 ist ein elektrisch angetriebener Ionenimplantierer und -monitor, der für die anspruchsvollsten Anforderungen moderner Halbleiter-, medizinischer und industrieller Ionenimplantationsanwendungen entwickelt wurde. 345 mit modernsten Technologien bietet maximalen Strahlstrom bis zu 35mA, Strahlenergie bis zu 400 keV und eine minimale Strahldauer von 0,2 µs für extrem präzise und präzise Atom-für-Atom-Modulation und -Steuerung. Die Maschine ist mit einer fortschrittlichen Quelle-Neutralisationsausrüstung gebaut, die die Strahlgleichförmigkeit maximiert und einen genaueren Ionenstrahl erzeugt und gleichzeitig die Quelle vor der Möglichkeit von Sputterschäden schützt. Das System bietet eine überlegene Lebensdauer der Quelle und gewährleistet gleichzeitig eine hohe Ionenimplantationsgenauigkeit. Darüber hinaus entfällt die zusätzliche Rückseitenneutralisierung, die eine direkte Steuerung des Strahlstroms durch die Quelle ermöglicht, wodurch die Genauigkeit verbessert wird, indem alle für die Rückseitenneutralisierung erforderlichen Anpassungen entfallen. Die Maschine verfügt auch über eine fortschrittliche Strahlabtastmaschine, die über beide Seiten des Wafers oder der Probe scannen kann, um eine genaue Positionierung und Erfassung des Ionenstrahls zu gewährleisten. Das Abtastwerkzeug bietet auch eine hochpräzise Strahlfleckumfassung und bietet auch eine Vielzahl von Steuerungsmöglichkeiten, mit denen der Benutzer die Strahlform und Strahlgröße schnell anpassen kann, um die Ionenimplantationsprozesse weiter anzupassen. VARIAN 345 kommt auch mit einem fortschrittlichen Ionenstrahl-Monitor, der in der Lage ist, die Niveaus der Ionendosis, der Energie und der Position während des Implantationsprozesses zu erfassen und zu überwachen. Der Monitor kann verschiedene Arten von Dotierstoffen wie Bor, Arsen, Antimon, Phosphor und Zink erkennen und genaue Dosiswerte für eine präzise Implantationskontrolle melden. Zu guter Letzt verfügt 345 auch über eine digitale Überwachung und Steuerung, mit der Benutzer Implantationsparameter mithilfe einer grafischen Benutzeroberfläche anzeigen, analysieren und konfigurieren können. Dieses Modell bietet auch integrierte Diagnosen zur einfachen Fehlerbehebung, während leicht gespeicherte Einstellungen für die Verwendung während zukünftiger Implantationsprozesse zurückgerufen werden können. VARIAN 345 ist ein sehr vielseitiger und leistungsstarker Ionenimplantator und -monitor, der den hohen Anforderungen moderner Ionenimplantationsanwendungen gerecht wird. 345 wurde mit fortschrittlichen Technologien und Funktionen gebaut und ist eines der zuverlässigsten und präzisesten Ionenimplantationssysteme, die heute auf dem Markt erhältlich sind.
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