Gebraucht VARIAN 350D #293595050 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 293595050
Wafergröße: 6"
Ion implanter
Dual end station, 6"
Freeman source
HP Gas unit
Beamline cryopump
BIC / BROOKHAVEN INSTRUMENTS CORP Digital scanner
Monitor scope, 5"
Remote operation unit
Current integrator
Vacuum gauge controller
GLASSMAN HIGH VOLTAGE INC Power supply: 180 kV
(2) Cryo-Torr 8 Cryopumps
Diffusion pump.
VARIAN 350D ist ein Ionenimplantator und Monitor zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es wird sowohl für die Ionenimplantation als auch für die schnelle thermische Verarbeitung von Halbleiterscheiben verwendet. VARIAN 350 D verfügt über eine sehr breite Palette von Fähigkeiten, so dass es eine optimale Leistung für alle Arten von Halbleiterbauelementen bietet. 350D ist mit einer hochleistungspulsten Ionenquelle und einer hochpräzisen Steuerung von Strahlstrom und Spannung ausgestattet. Es verfügt auch über verschiedene Plasmaätz- und Reinigungskammern, mit denen Halbleiterscheiben schnell gereinigt und geätzt werden können. 350 D hat auch eine niederenergetische Ionenbeschussquelle, die eine detaillierte Sondierung und Abbildung der Struktur des Halbleitermaterials ermöglicht. Die bildgebenden Funktionen von VARIAN 350D dazu beitragen, die Gesamtqualität der Geräteherstellung zu verbessern. Es verfügt außerdem über ein Monitorsystem, das es dem Benutzer ermöglicht, den Ionenimplantationsprozess jederzeit während des Implantationsprozesses visuell zu beobachten. Das Monitorsystem ermöglicht auch die Optimierung der Implantationsparameter wie Strahlspannung, Strom und Abtastgeschwindigkeit. VARIAN 350 D ist in der Lage, eine schnelle thermische Verarbeitung zu erreichen, was bedeutet, dass es in wenigen Sekunden Temperaturen von 900 Grad Celsius erreichen kann. Dies macht 350D ideal für Fertigungsprozesse, die extrem präzise Temperaturen erfordern. 350 D ist auch in der Lage, mehrere Arten implantieren, so dass die genaue Einarbeitung von Bor und/oder Phosphor in Halbleitermaterial. Neben seinem vielfältigen Leistungsspektrum verfügt VARIAN 350D auch über eine erweiterte Sicherheitsfunktion. Es verfügt über ein mehrstufiges Sicherheitssystem, das entwickelt wurde, um den Benutzer vor Stromschlag und Kurzschluss zu schützen. Damit ist VARIAN 350 D auch in Labor- oder Industrieumgebungen sicher einsetzbar. 350D ist ein äußerst vielseitiger und leistungsstarker Ionenimplantierer und -monitor, der hervorragende Ergebnisse für die Herstellung von Halbleiterbauelementen liefern kann. Es ist mit einer breiten Palette von Merkmalen und Fähigkeiten ausgestattet, was es die ideale Wahl für die Herstellung von großflächigen und kleinen Halbleiterbauelementen macht.
Es liegen noch keine Bewertungen vor