Gebraucht VARIAN 350D #293600208 zu verkaufen

VARIAN 350D ist ein Hochleistungs-Ionen-Implantierer und -Monitor, der präzise Dosen hochgeladener Ionen in Halbleitersubstrate liefert. Es besteht aus mehreren Komponenten, darunter eine Ionenquelle, eine Beamline, ein Massenspektrometer, ein Strahlablenksystem und ein Steuerpult. VARIAN 350 D Ionenquelle ist eine beheizte, hochvakuumkompatible Quelle, die Ionen verschiedener Energien und Strahlströme liefern kann. Es wird von einem HF-Generator mit einstellbarer Frequenz und Amplitude gespeist und ist mit einer Elektronenstrahl-Ionenquelle zur Feinsteuerung des Ionenflusses ausgestattet. Die Strahllinie besteht aus einem Fokussiermagneten, einer beschleunigten Spannungsquelle und einem Satz elektrostatischer Ablenkplatten. Der Strahl wird durch das vom Fokussiermagneten erzeugte Magnetfeld fokussiert, das eine Feinsteuerung der Flugbahn und der Energie des Ionenstrahls ermöglicht. Die beschleunigende Spannungsquelle liefert die Energie, die benötigt wird, um die Ionen auf ihre benötigten Implantatenergien zu beschleunigen. Die elektrostatischen Ablenkplatten dienen dazu, den Ionenstrahl abzulenken und zum gewünschten Zielsubstrat zu lenken. Das Massenspektrometer dient zur Messung und Überwachung der implantierten Ionen. Es ermöglicht eine präzise Steuerung des Ionenflusses und der Dosisrate, wodurch die gewünschte Dosis genau kontrolliert werden kann. Es ist mit einer Kammer und einem Satz hochohmiger Detektoren ausgestattet, die die Ionenarten und ihre jeweiligen Intensitäten messen. 350D ist mit einem Strahlablenksystem bestehend aus einem rotierenden Ablenker und einem einstellbaren Strahlformungsgitter ausgestattet. Der Ablenker wird verwendet, um die Position des Balkens zu schalten, und das Strahlformungsgitter wird verwendet, um die Strahldivergenz zu reduzieren und die Strahlform zu steuern. Dieses System ermöglicht eine exakte Positionierung des Ionenstrahls in Bezug auf das Zielsubstrat. Die Bedienkonsole bietet eine intuitive grafische Benutzeroberfläche, um die präzise Steuerung des Implantationsparameters zu ermöglichen und den Implantationsprozess zu überwachen. Es ermöglicht auch die Fernüberwachung und Steuerung von 350 D über das Internet. VARIAN 350D ist ein leistungsstarker, präziser Ionenimplantator und Monitor, der hochpräzise Dosen hochgeladener Ionen in Substrate liefern kann. Die Kombination ihrer Komponenten ermöglicht eine vollständige Kontrolle des Implantationsprozesses, so dass präzise Dosen von Ionenarten in Substrate implantiert werden können. Es ist das ideale Werkzeug für die Herstellung von Geräten, die eine genaue Kontrolle über die Dotierungsstufen erfordern.