Gebraucht VARIAN 350D #293641021 zu verkaufen

VARIAN 350D ist ein hochpräzises Hochstrom-Ionen-Implantier- und Monitorgerät für die Herstellung von Halbleiterscheiben. Das System ist in der Lage, Ionen einer Vielzahl von Typen zu implantieren, einschließlich Bor, Sauerstoff und Stickstoff, mit einer breiten Palette von Energien, die von 1 keV bis 500 keV reichen. Das Gerät ist mit zwei separaten Implantatkammern ausgestattet, die eine gleichzeitige Implantation und Datenerfassung aus mehreren Wafern ermöglichen. Die elektronische Steuerungs- und Überwachungsmaschine VARIAN 350 D ist mit einer Vielzahl von zeitsparenden Funktionen ausgestattet. Das Strahlintensitätssteuerungswerkzeug passt den Strahlstrom genau an, um die Waferleistung zu optimieren, während die fortschrittliche Wafer-Nivellierungsanlage eine gleichmäßige Implantation gewährleistet. Das integrierte Fehlererkennungsmodell erkennt Fehler im Implantatprozess und ermöglicht die Korrektur, bevor die Wafer zur Verpackung geschickt werden. Das Vakuumsystem der Anlage umfasst eine hocheffiziente Turbomolekularpumpe und eine einstellbare Turbo-Vakuumkammer, die eine hohe Prozesswiederholbarkeit ermöglichen. Das Vorvakuum sowie der rückseitige Kammerdruck und die Temperatur können entsprechend den geforderten Bearbeitungsparametern optimal eingestellt werden. Die beiden hocheffizienten 10-Zonen-Tiegel ermöglichen die gleichzeitige Implantation von bis zu 10 Wafern. Die vollautomatische Endpunkterkennungsmaschine überwacht die Kammervariablen genau, um den bestmöglichen Implantatprozess zu gewährleisten. 350D liefert ein Maß an Präzision und Genauigkeit, das erforderlich ist, um qualitativ hochwertige und leistungsstarke Halbleiterbauelemente herzustellen. Dieses Tool sorgt für eine hohe Durchsatzproduktion, minimiert Ausfallzeiten und senkt die Gesamtkosten. Es ist eine zuverlässige, leistungsstarke Anlage, die sich ideal für den Einsatz in allen Arten von Halbleiterproduktionen eignet.