Gebraucht VARIAN 350D #293765991 zu verkaufen

VARIAN 350D ist eine hochmoderne Ionenimplantat- und Monitorausrüstung für Halbleiterprozesse. Diese vielseitige Vorrichtung kann für eine Vielzahl von Anwendungen wie Dotieren, Glühen und Ionenfräsen eingesetzt werden. Das System besteht aus einem Implantierer, einem Monitor und mehreren Computersystemen zur Steuerung der Einheit. Der Implantierer verwendet Energie und Magnetfelder, um Ionen auf den Zielwafer zu beschleunigen, wo sie in die Oberfläche implantiert werden, um unterschiedliche chemische und elektrische Eigenschaften zu erreichen. Der Monitor wird verwendet, um den Ionenstrom zu messen und sicherzustellen, dass er innerhalb akzeptabler Grenzen liegt. VARIAN 350 D basiert auf einem einseitigen Beschleunigerdesign und verfügt über eine Aluminium-Keramik-Optik (ACO) -Linse, die eine patentierte linear abgestufte Linsenmaschine ist, die einen hochwertigen Strahlfleck für eine zuverlässige und wiederholbare Implantation bietet. Die ACO-Linse hat einen einstellbaren Fokus, der eingestellt werden kann, um eine gleichmäßige Implantatdichte in einer bestimmten Tiefe im Wafer zu gewährleisten. Das Tool verfügt auch über eine integrierte computergesteuerte Steuerung und Benutzeroberfläche, die zur Überwachung und Änderung des Implantierungsprozesses verwendet werden kann. 350D ist ein genaues und zuverlässiges Implantier- und Monitormodell, das in der Lage ist, hochpräzise und kontrollierte Prozesse für die serienmäßige Halbleiterherstellung durchzuführen. Es ist für höchste Prozessflexibilität ausgelegt und bietet eine Reihe von Strahlfleckgrößen, Strömen, Dosen und Energieniveaus sowie eine Vielzahl von Strahltypen, wie Einzelstrahl, Doppelstrahl, Mehrstrahl und kombinierter Strahl. Das Gerät verfügt auch über eine einzigartige SIMPLE Programmiersprache und Datenerfassungsausrüstung, mit der Benutzer verschiedene Prozessparameter speichern und abrufen können. Das System ist zudem mit Grenzkontroll- und Warnsystemen ausgestattet, die dazu beitragen, dass alle Implantationsparameter innerhalb der sicheren Grenzen liegen und etwaige Außertoleranzbedingungen schnell erkannt und korrigiert werden. Abschließend ist 350 D eine zuverlässige und effiziente Ionenimplantator- und Monitoreinheit. Es ist in der Lage, verschiedene Dotierstoffe und Ionen genau in Wafer zu implantieren und verfügt über eine Reihe von Funktionen und Werkzeugen, wie programmierbare Grenzwertprüfungen und eine SIMPLE Datenerfassung, die dazu beitragen, sicherzustellen, dass alle Implantationsprozesse präzise und wiederholbar sind. Das Gerät eignet sich ideal für Serienanwendungen und ist sicher ein wertvoller Vorteil für jeden Halbleiterhersteller.