Gebraucht VARIAN 350XP #293600209 zu verkaufen

VARIAN 350XP ist ein Ionenimplantierer und -monitor für den Einsatz in der Halbleiterverarbeitung. Das System besteht aus einer vorstrahlenden Kammer und einem vakuumdichten Implantierkopf sowie einem digitalen Signalprozessor zur Steuerung und Datenerfassung. Das vorstrahlende Kammermodul beherbergt die hauptsächliche Ionenquelle, einen integralen Massenseparator und einen intern sitzenden Rechner zur Erzeugung und Überwachung der gewünschten Strahleigenschaften. Dieser Maschinenabschnitt ist von der Implantatkammer getrennt, so dass eine schnelle Implantation möglich ist, ohne dass nacheinander Parameter neu festgelegt werden müssen. Das Implantiermodul besteht aus einer Kammer mit einachsiger Gantry, vakuumdichtem Absperrventil und integriertem Massenspektrometer. Das Design ermöglicht eine variable Verweilzeit sowie eine variable Position entlang des Portals. Die Implantatquelle hat einen Niedertemperaturbereich und kann zur Implantation von Ionen aller Art, einschließlich schwerer Ionen wie Plutonium und Aluminium, verwendet werden. Die innere Abschirmung minimiert die Rückstreuung und reduziert die Menge der Probenkontamination. Das integrierte Überwachungs- und Steuerungssystem verwendet einen digitalen Signalprozessor (DSP), um eine genaue Implantation zu ermöglichen und die Einhaltung der erforderlichen Parameter sicherzustellen. Dies ermöglicht eine automatisierte Einstellung der Strahlform und -masse und überwacht die Prozessbedingungen wie den Kammerdruck. 350XP wurde entwickelt, um eine schnelle, zuverlässige und genaue Nachverfolgung von Probenpositionen ohne Kompromisse bei der Genauigkeit oder Qualität zu ermöglichen. Es kann verwendet werden, um Ionen aller Energien zu implantieren, von einigen Zehntel eines keV bis zu mehreren Mega-Elektronenvolt, und eignet sich für den Einsatz auf einer breiten Palette von Materialien, einschließlich Halbleiterscheiben und Nanodrähten. Das System ist sehr intuitiv und benutzerfreundlich, so dass es eine gute Wahl für diejenigen in der Halbleiterverarbeitungsindustrie.