Gebraucht VARIAN 400-10 #9156375 zu verkaufen

ID: 9156375
Ion implanter.
VARIAN 400-10 ist ein leistungsstarker Ionenimplantator und -monitor, der Ionen präzise in Halbleiterbauelemente implantiert. Der Ionenimplantator ist in der Lage, Ionen in einer Vielzahl von Materialien abzuscheiden, darunter Metalle, Oxide, Nitride und Karbide. Die hochpräzise Steuerung der Vorrichtung wird durch die schnellen Einstellmöglichkeiten ihrer drei Hauptkomponenten erreicht: die Ionenquelle, das Massenfilter und die Strahlführungseinrichtung. Die Ionsquelle 400-10 ist eine Hoch-Machtkreisbogenentladungsionsquelle bietet energiereiche Niveaus und einheitlichen Raumionsvertrieb. Es hat die Fähigkeit, den Ionenstrahl auf 30 nm Punktgrößen zu lenken. Das zur Erzielung des Ionenstrahls verwendete Hintergrundgas kann eingestellt werden, wodurch die Reproduzierbarkeit der Ionenimplantation präzise kontrolliert werden kann. Der Massenfilter kann den Bereich der zu implantierenden Ionen auswählen, wodurch die unerwünschten Ionen aus dem Strahl entfernt werden, was eine Feinabstimmung der Materialzusammensetzung ermöglicht. Das Strahlführungssystem stellt ein einstellbares elektrisches Feld zur Verfügung, um die Ionen unter vorgegebenen Winkeln in das Material zu leiten. Das Gerät bietet eine Vielzahl von Funktionen, die dazu beitragen, dass der Ionenimplantationsprozess reproduzierbar und präzise ist. Dazu gehören Strahlenergiesteuerung, dynamische Strahlabtaststeuerung, strahlungsbeständige Materialien und eine rauscharme Stromversorgung. Die pulsmodulierte Strahlsteuerung trägt dazu bei, die Gleichmäßigkeit der Implantatdosis zu gewährleisten und eine präzise Kontrolle des Implantationswinkels zu gewährleisten. Die Maschine bietet auch automatische End-of-Dosis-Sensoren, die helfen, die genaue Implantatrate zu gewährleisten. VARIAN 400-10 überwacht auch den Ionenimplantator in Echtzeit und bietet eine konstante Visualisierung der Position und des Status des Strahls. Dies ermöglicht die Überwachung der Energie, des Profils und des Stroms des Strahls sowie der Implantatrate und des Profils. Die von den Monitoren erhobenen Daten können verwendet werden, um die Korrektheit der Implantationsbedingungen zu bestätigen und sicherzustellen, dass das Material korrekt implantiert wurde. Insgesamt 400-10 ist ein fortschrittlicher Ionenimplantator und Monitor, der die Genauigkeit, Präzision und Reproduzierbarkeit bietet, die für eine erfolgreiche Implantation von Halbleiterbauelementen erforderlich sind. Seine Eigenschaften ermöglichen eine präzise Kontrolle der Strahlrichtung, der Energie und des Profils und ermöglichen so die ideale Materialzusammensetzung für spezifische Anwendungen.
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