Gebraucht VARIAN 8010 #9068893 zu verkaufen

VARIAN 8010
ID: 9068893
Wafergröße: 5"
Ion implanter, 5".
VARIAN 8010 ist ein Ionenimplantator und -monitor, der entwickelt wurde, um präzise Dosen von hochenergetischen Ionen zu liefern, die in der Halbleiter- und anderen Hightech-Geräteherstellung verwendet werden. Ionen werden in ein Substratmaterial, wie einen Halbleiterwafer, injiziert, um das gewünschte Muster von leitfähigen Schichten zu erzeugen. 8010 ist ein wichtiges Werkzeug für die Herstellung, da es eine genaue Kontrolle über die Dosierung von Ionen bietet, die injiziert werden. VARIAN 8010 umfasst eine Ionenquelle und zwei Präzisions-Ionen-Implantationssysteme. Die Ionenquelle liefert die energiereichen Ionen, mit denen Verunreinigungen in das Substrat implantiert werden. Die beiden Implantationssysteme umfassen einen Beschleuniger und einen Verzögerer, die die Geschwindigkeit der Ionen vor und nach dem Erreichen des Substratmaterials steuern. Der Beschleuniger beschleunigt die Ionen auf hohe Geschwindigkeiten, während der Verzögerer sie verlangsamt, bevor sie das Material erreichen. Der Monitor von 8010 soll sicherstellen, dass die richtige, vorbestimmte Dosis dem Substrat zugeführt wird. Es verwendet eine Vielzahl von Sensoren und Detektoren, um die Menge der gelieferten Ionen zu messen. Der Monitor liefert auch Informationen über die aktuellen Bedingungen des Implantationsprozesses, einschließlich der Stromversorgungsspannung, Prozessstrom und der Expositionsdosis auf das Substrat. Diese Informationen helfen den Anwendern sicherzustellen, dass die abgegebene Dosis genau und für das Substrat geeignet ist. VARIAN 8010 enthält auch eine Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen, die sowohl das Substratmaterial als auch den Bediener vor potenziellen Gefahren im Zusammenhang mit der Ionenimplantation schützen. Diese Merkmale umfassen den Schutz vor Strahlung, Überspannung, Übertemperatur und Überdruck. Das System umfasst auch eine Reihe von Diagnosewerkzeugen, wie Alarme und automatische Abschaltung, um mögliche Probleme im Zusammenhang mit dem Implantationsprozess zu erkennen, bevor sie gefährlich werden. Abschließend ist 8010 ein hochpräziser Ionenimplantator und -monitor, der entwickelt wurde, um hochenergetische Ionen, die in einer Vielzahl von Hightech-Geräteherstellungsprozessen verwendet werden, sicher und präzise zu liefern. Es bietet eine zuverlässige Kontrolle über die Dosis von Ionen, die dem Substrat mit einer Kombination aus Ionenquelle, Implantationssystemen und Überwachungswerkzeugen zugeführt werden. Das System enthält auch eine Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen, um die Sicherheit des Substrats und des Bedieners zu gewährleisten.
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