Gebraucht VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS E11072881 #293656610 zu verkaufen
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VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS E11072881 Ionenimplantator und Monitor ist eine Hochleistungsausrüstung für die Dotierung in integrierten Schaltungen und anderen elektronischen Geräten. Es ist mit ultrahohen Bias- und Low-Energy-Implantationsfähigkeiten ausgestattet, die eine präzise Kontrolle von Dopingtiefen und -konzentrationen ermöglichen. Das System basiert auf einer Difluorbenzol (DFB) -Elektronenbeschuss-Ionenquelle, die ein hohes Maß an Ionenstrahl-Gleichmäßigkeit und Stabilität bietet und in einer Hochvakuumkammer untergebracht ist, um einen sauberen Betrieb zu gewährleisten. Die Quelle arbeitet bei einem Druck von etwa 10-4 Torr und einem Energiebereich zwischen 3 und 50 keV. Die Steuerelektronik des Geräts verfügt über eine benutzerfreundliche, menügesteuerte Schnittstelle mit automatisierten Implantations- und Prozessparametern, einschließlich Strahlstrom, Strahlspannung, Strahldurchmesser, Steuerung des Strahlstroms, Energiebereich, Abtastzeit und Strahlfokus. Die Maschine umfasst auch eine Reihe von Sicherheitsmaßnahmen, wie einen Strahlungsdetektor, eine Emissionsoptikkammer und ein Alarmwerkzeug zur Überwachung des Betriebs der Anlage. Der Ionenimplantator kann sowohl für die Mittelstrom- als auch für die Hochstromimplantation verwendet werden. Es verfügt über ein einzigartiges Dual-Partikel-Beschleuniger-Design, das sich an die Bedürfnisse einer Vielzahl verschiedener Implantationsprozesse anpassen kann. Die Beschleunigerkammer ermöglicht eine schnelle und präzise Implantation vorprogrammierter Parameter und verfügt über ein variabel koordiniertes Ionenliefermodell, das hohe Implantationsraten ermöglicht. Die Ionenimplantationsgeräte können die Ergebnisse des Implantationsprozesses von Anfang bis Ende automatisch überwachen, um konsistente Implantationsergebnisse zu gewährleisten. Das Monitorsystem umfasst eine Reihe von Kammerdetektoren, die Energie, Strom und andere Parameter des Implantationsprozesses messen. AMAT E11072881 unit ist eine zuverlässige und einfach zu bedienende Maschine zur Implantation elektronischer Geräte. Es eignet sich gut für die schnelle und genaue Dotierung von integrierten Schaltungen und bietet eine automatisierte Steuerung der Implantationsparameter. Das Werkzeug ist mit Sicherheitsmerkmalen wie einem Strahlungsdetektor und einer Emissionsoptikkammer ausgestattet und verfügt über eine benutzerfreundliche, menügesteuerte Schnittstelle. Die Anlage umfasst auch ein verbessertes Überwachungsmodell, um konsistente Implantationsergebnisse zu gewährleisten, sowie eine Reihe von Kammerdetektoren zur Messung der Energie und des Stroms des Implantationsprozesses.
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