Gebraucht VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta 80 #9217499 zu verkaufen

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ID: 9217499
Ion implanter No SMIFs or dry pumps Implant dose performance: Dose range: 2E12 - 1E16, (4E12 – 1E16 ions/cm2 - quad mode) Uniformity: ≥10 keV, 1 sigma ≤1.0% mean dose across wafer 500 eV to 10 keV, 1 sigma ≤1.5% mean dose across wafer Repeatability: ≥10 keV, 1 sigma ≤0.7% mean dose of wafers 500 eV to 10 keV, 1 sigma ≤1% mean dose of wafers Beam parallelism ±1º in X and Y axis for ≥10 keV drift Ion mass resolution: M/DeltaM > 60 FWHM Process angles: Tilt: ±45º; 2 axis; Programable in 1º steps; accuracy ±0.5º Orientation: 0 - 360º; programable in 1º steps; accuracy ± 1º Rotation: Equivalent multi-tilt, quad mode Wafer cooling: Gas cooled electrostatic platen 200mm < 100ºC @ 800 W beam power 300mm < 100ºC @ 1200 W beam power Particulate control: Frontside: ≤0.15 particles added/cm2@ ≥0.16μm particles Max throughput (wph): 200mm, 300mm Min 2 scans (4 passes): ≥250, ≥230 Wafer handling: Backside pick and place wafer orientation Load locks: (2) Independent cassette load locks FOUP/cassette buffer compatible – 4 SEMI E15.1-0298 load ports AGV compatible SMIF compatible Wafer breakage: MWBB 1:100,000 Metals contamination: Al < 50ppm of implanted dose Transition and heavy metals (Fe, Cr, Ni, Cu) < 5ppm of implant dose 1999 vintage.
VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 80 ist ein Ionenimplantator und Monitor, der das Einbringen und Entfernen von Ionen in und aus Halbleitermaterialien genau kontrollieren soll. Diese fortschrittliche Ausrüstung bietet Benutzern ein zuverlässiges und hochgenaues Werkzeug, das verwendet werden kann, um Hochleistungs-Halbleiterbauelemente aus einer Vielzahl von Materialien zu erstellen. AMAT VIISta 80 Ionen Implantierer und Monitor verfügt über ein robustes Design mit einem eingebauten Interlock-System, das einen schnellen und sicheren Betrieb ermöglicht. Dieses Gerät verfügt auch über eine proprietäre Elektronenstrahl-Fensteroption, die es Anwendern ermöglicht, schnell optimale Implantattiefen für ihre Anwendungen zu erreichen. VARIAN VIISta 80 nutzt eine Vielzahl fortschrittlicher Funktionen, um die maximale Genauigkeit und Präzision beim Implantieren von Ionen zu gewährleisten. Es ist mit ausgeklügelten Algorithmen ausgelegt, die eine adaptive Anpassung von Ionenimplantatraten, Ionenstrahlausrichtung und Prozessparametern ermöglichen. Darüber hinaus verfügt es über eine fortschrittliche Wafer-Ausrichteinheit, die ständig auf Genauigkeit und Präzision überwacht wird. Zur Überwachung verwendet VIISta 80 optische Echtzeit-Strahlprofilierung, die Anwendern die genauesten Messwerte über Ionenkonzentrationen in ihren Materialien liefert. Diese leistungsstarke Maschine enthält auch einen verbesserten Strahlbetrachter, mit dem Benutzer die Ionenkonzentrationen ihrer Materialien genauer analysieren können. ANGEWANDTE MATERIALIEN VIISta 80 ist mit einer Reihe von Schutz- und Sicherheitsmaßnahmen ausgestattet, um die Exposition gegenüber gefährlicher Strahlung und elektrischem Schock zu minimieren. Darüber hinaus ist das Gerät so konzipiert, dass es den branchenüblichen Sicherheitsstandards vollständig entspricht. Insgesamt ist VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 80 ein fortschrittlicher Ionenimplantator und Monitor, der den Anwendern optimale Leistung und Zuverlässigkeit beim Injizieren oder Entfernen von Ionen aus Halbleitermaterialien bietet. Dieses robuste Werkzeug bietet eine Reihe von Präzisionskontrollfunktionen, Schutzmaßnahmen und Strahlmonitoren, um höchste Qualitätsergebnisse und eine sichere Arbeitsumgebung zu gewährleisten.
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