Gebraucht VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta 80HP #9292217 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9292217
Ion implanter
IAN Computer, P/N: E11130730
NCS Computer, P/N: E11083873
End station:
Platform type: UES Buffer, P/N: E11138370
(4) BROOKS AUTOMATION Fixload 6 Loadports
BROOKS AUTOMATION DBM 2706 Buffer robot
(2) BROOKS AUTOMATION VAC-407-2A PRI Robots, P/N: E40001450
Source module:
Gas box, P/N: E11140710
IHC Source removed
Manipulator
Part number / Gas stick
E11116732 / Gas1
E11147261 / Gas2
E11147241 / Gas3
E11147251 / Gas4
E11116782 / Gas5
Beam-line module:
90° Magnet assembly
Decel lens assembly
70° Magnet assembly
D2 Lens: Lens assembly and ES Decel
Process chamber module:
Angle cup: E11127951
Roplat kit
(2) MKS 354019-TD-T Vacuum gauges
(2) EDWARD STP-A2203C2 Turbo pumps
(2) EDWARD SCU-1500 Turbo pump controllers
PFEIFFER TMH-261 YPX Turbo pump
(3) CTI-CRYOGENICS OBIS-250F Pumps
(2) CTI-CRYOGENICS 9600 Turbo pumps
(2) EDWARD IQDP80 / QMB500 Rough pumps
EDWARD IGX100M Rough pump
Main PD assembly, P/N: E17352070
Remote PD, P/N: E19012371
Missing parts:
AFFINITY PAA-003B-CE50CBD3 Platen chiller
(2) Manipulator controllers, P/N: E11290090
Beam gate assembly, P/N: E11084150
Supply interface PCB, P/N: E15003820
Orient assembly, P/N: E11320430
PMC A3 Board, P/N: E11559950
Left PRI Robot, P/N: E40001450
ESC, P/N: E11368067
Bipolar switch box, P/N: E11335731
QUAD2 Lens assembly, P/N: E11320190
QUAD2 Power supply, P/N: E19297910
D2 Power supply, P/N: E11326011
Source isolation controller, P/N: E11106222
K2 Relay, P/N: E65000649
(3) ADIO, P/N: E11292270
PFG Controller, P/N: E11092090
V17 Valve, P/N: E32000150
Scan motor assembly, P/N: E11061452
L/P Clamp assembly
ARC Power supply CABLE, P/N: E16135690
IG2 Gauge, P/N: 354019-TD-T
(2) IG3 Gauges, P/N: 354019-TD-T
G2 Gauge, P/N: E33000206
G3 Gauge, P/N: E33000206
G10 Gauge, P/N: E33000206.
VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 80HP Ion Implanter and Monitor ist ein hochpräzises Instrument, das in der Halbleiterindustrie weit verbreitet ist. Es ist ein Hochleistungswerkzeug, das in der Lage ist, hochpräzise Ionenimplantationen und genaue Abscheidungsüberwachung durchzuführen. AMAT VIISta 80HP verwendet drei verschiedene Strahlquellen, um Ionen in eine Vielzahl von Halbleitermaterialien zu implantieren. Dazu gehören Bor, Phosphor, Arsen und Antimon. Der Monitor besteht aus einem Röntgendetektor, mit dem die Intensitäten der durch den Implantationsvorgang erzeugten Röntgenstrahlen gemessen werden. Durch die Kombination der drei verschiedenen Quellen ist ein genaues Muster der Ionenimplantation erreichbar, um die Eigenschaften von Halbleiterbauelementen zu optimieren. Neben der Ionenimplantation bietet VARIAN VIISTA 80 PS auch eine genaue Abscheidungsüberwachung. Während des Abscheideprozesses wird mit dem Röntgendetektor die Dicke der abgeschiedenen Schichten gemessen. Dadurch wird sichergestellt, daß die vorgegebene Dicke der Schichten für eine optimale Leistung der Halbleitereinrichtung erreicht wird. Wenn es um Kontrolle und Genauigkeit geht, ist APPLIED MATERIALS VIISta 80HP darauf ausgelegt, ein Höchstmaß an Kontrolle zu gewährleisten. Es beherbergt verschiedene Computersysteme, die eine hohe Genauigkeit und Präzision bieten können. Die Computersysteme sind mit einer grafischen Benutzeroberfläche integriert, die für Anwender einfach und einfach zu manipulieren ist. Darüber hinaus verwendet das System ein fortschrittliches Überwachungssystem, das es Anwendern erleichtert, Probleme zu erkennen, die während des Implantationsprozesses auftreten können. Insgesamt ist VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISTA 80 PS ein Hochleistungs-Ionen-Implantierer und -Monitor. Es verfügt über die Fähigkeit, präzise Ionenimplantationen durchzuführen und Abscheidungsprozesse genau zu überwachen. Darüber hinaus ist die benutzerfreundliche grafische Oberfläche und das hochgenaue Überwachungssystem ein ideales Werkzeug für die Halbleiterindustrie.
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