Gebraucht VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta 80HP #9292218 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9292218
Ion implanter
IAN Computer, P/N: E11130730
NCS Computer, P/N: E11083873
End station:
Platform type: UES Buffer, P/N: E11138370
(4) BROOKS AUTOMATION Fixload 6 Loadports
BROOKS AUTOMATION DBM 2706 Buffer robot
(2) BROOKS AUTOMATION VAC-407-2A PRI Robots, P/N: E40001450
Source module:
Gas box, P/N: E11140710
Manipulator
Part number / Gas stick
E11116732 / Gas1
E11147261 / Gas2
E11147241 / Gas3
E11147251 / Gas4
E11116782 / Gas5
Beamline module:
90° Magnet assembly
Beamgate assembly
Decel lens assembly
70° Magnet assembly
D2 Lens: Lens assembly and ES Decel
Process chamber module: Roplat kit
(4) MKS 354019-TD-T Vacuum gauges
(2) EDWARD STP-A2203C2 Turbo pumps
EDWARD SCU-1600 Turbo pump controller
EDWARD SCU-1500 Turbo pump controller
(2) PFEIFFER TMH-261 YPX Turbo pumps
(3) CTI-CRYOGENICS OBIS-250F Pumps
(2) CTI-CRYOGENICS 9600 Turbo pumps
EDWARD IQDP80 / QMB500 Rough pump
EDWARD IGX100M Rough pump
Main PD assy: Circuit breaker kit
CVCF PD, P/N: E19009490
Remote rack
Missing parts:
AFFINITY PAA-003B-CE50CBD3 Platen chiller
(2) Manipulator controllers, P/N: E11290090
Angle cup assy, P/N: E11127951
Setup cup PCB, P/N: E11084150
TMC A2 Board, P/N: E11559860
TMC A4 Board, P/N: E12013370
QUAD2 Lens assembly, P/N: E11320190
ESC, P/N: E11368067
Source isolation controller, P/N: E11106222
Twist motor, P/N: E11130962
Loadlock vent pressure regulator, P/N: E33000355
LP2 ST32 Board P/N: 013501-167-27
Buffer robot controller fuse.
VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 80HP ist ein Ionenimplantator und Monitor zur Herstellung von Halbleiterchips. Das Gerät wird verwendet, um Ionen auf die Oberfläche der Wafer zu implantieren und ihre elektrischen Eigenschaften zu ändern. AMAT VIISta 80HP ist ein High-End-Implantator, der Ionen in einer Vielzahl von Materialien und Bedingungen präzise und konsequent implantieren kann. Das Gerät verfügt über eine breite Palette von Leistungsmerkmalen. Es ist in der Lage, Bor, Phosphor, Arsen und Antimon zusammen mit anderen Ionen zu implantieren, und kann bei Energien bis zu 100 Kilo Elektronen vetts arbeiten. Es hat auch eine Gleichmäßigkeit von + - 1%, eine Genauigkeit von 0,1% bis 0,01% und eine Auflösung besser als 1 nm für größere Implantatbereiche. Das Gerät hat einen Durchsatz von bis zu 8 Wafern pro Stunde, was bedeutet, dass es bis zu 8 Millionen Ionen pro Sekunde implantieren kann. Darüber hinaus verfügt VARIAN VIISTA 80 HP über ein umfassendes Überwachungs- und Steuerungssystem. Es ist mit einem Echtzeit-Energie-Auslesegerät ausgestattet, mit dem die Spannungs- und Stromrampe nach Bedarf überwacht und eingestellt werden kann. Es hat auch eine Echtzeit-Dynamikbereichseinstellung, die dafür sorgt, dass die implantierten Ionen im gewünschten Bereich bleiben. Die Leistung und Überwachung von VIISta 80HP kann auch je nach Anwendungsfall angepasst werden. Das Triple Filter Management System wurde entwickelt, um die Leistung zu optimieren und Fehler zu minimieren und gleichzeitig die gewünschten Implantatdosen beizubehalten. Es kombiniert drei integrierte Kanäle, um eine präzise Kontrolle über mehrere Parameter zu ermöglichen. VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISTA 80 PS ist auch entworfen, um Abfälle und Emissionen zu reduzieren, da es niedrige Wasser- und Abgasanforderungen hat. Das Gerät ist zur Selbstüberwachung und Selbstkorrektur fähig und kann von einer einzigen Steckdose und Steckdose aus betrieben werden. Das macht es zu einer energieeffizienten Wahl für Produktionslinien. Insgesamt ist VARIAN VIISta 80HP ein leistungsfähiges und zuverlässiges Ionenimplantationsgerät. Das Gerät ist in der Lage, präzise und konsistente Operationen, und seine Energieeffizienz macht es zu einer ausgezeichneten Wahl für Produktionslinien-Anwendungen. Mit seinen umfassenden Überwachungs- und Kontrollsystemen kann AMAT VIISTA 80 HP sicherstellen, dass Implantate präzise und konsistent durchgeführt werden.
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