Gebraucht VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta 810 #9223170 zu verkaufen
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ID: 9223170
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2001
High energy ion implanters, 12"
(4) Cassettes / (4) FOUP Positions
ASYST 300 OHT Transport, 12"
All Cables included
GEM / SECS Interface
Mid current classic: 810
Bernas source
Dual vaporizer
(7) Programmable tilt angles
Tilter head revision: Type C
EDWARDS iQDP80 Dry pump
EDWARDS iQDP80/500 Dry pump
Dose range: 1e^11 ~ 1e^13
Turbo's:
Dimmer magnet
Source
End station
Cryo's:
(3) Process chambers
Scan chamber
Process gasses:
Gas 1: HP
Gas 2: SDS
Gas 3: SDS
Gas 4: SDS
Does not include:
Chiller
Dry pumps
Cryo compressors
Hard Disk Drive (HDD)
Power supply: 270 kV
2001 vintage.
VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 810 ist ein fortschrittlicher Ionenimplantator und Monitor, der speziell entwickelt wurde, um eine verbesserte Leistung und präzise Kontrolle für eine Vielzahl von Verarbeitungsanforderungen zu bieten. Das Gerät integriert einen hochauflösenden Hochleistungs-Elektronenvervielfacher, der in der Lage ist, die Implantatenergie in Echtzeit zu messen, um Gleichmäßigkeit und Genauigkeit für jeden Implantatprozess zu gewährleisten. AMAT VIISta 810 verwendet auch ein patentiertes Endstationsleitsystem (ESCS). Dies ermöglicht eine präzise und konsistente Steuerung der Implantat- und Überwachungsparameter während eines beliebigen Prozesses, so dass nur die voreingestellten Parameter verwendet werden. Darüber hinaus bietet VARIAN VIISta 810 eine integrierte Einheit zur Überwachung des Implantationsprozesses. Die eingebaute Diagnosemaschine ermöglicht es dem Bediener, den Implantatprozess kontinuierlich zu überwachen und erforderliche Anpassungen vorzunehmen. Dieses Überwachungswerkzeug ermöglicht die Kalibrierung von Anodenstrom und Implantatenergien. Der Hysterese-Monitor von APPLIED MATERIALS VIISta 810 ermöglicht auch eine bessere Kontrolle der Probenumgebung. Diese automatisierte Anlage überwacht die Energie und Dosis des Implantats beim Point-of-Implantat-Schritt, so dass signifikante Abweichungen von vorgegebenen Parametern schnell reagiert werden können. VIISta 810 bietet auch eine Vielzahl von Zugänglichkeitsoptionen. Mit der optionalen Remote-Konsole kann der Benutzer den Implantatprozess von einem anderen Standort aus überwachen und steuern. Zusätzlich gibt es einen Ethernet-Port für Online-Konnektivität, sodass mehrere Benutzer den Implantatprozess von verschiedenen Computern aus überwachen können. Das Modell kommt auch mit eingebauten Sicherheitsfunktionen. Die Sicherheitssperren erkennen Stromüberlastungen und unsichere Spannungen und verhindern so gefährliche Einsätze. Darüber hinaus erfüllt VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 810 alle neuesten Standards, um ein hohes Maß an Sicherheit auf dem Gelände zu gewährleisten. Abschließend ist AMAT VIISta 810 ein fortschrittlicher Ionenimplantator und Monitor, der speziell für eine verbesserte Leistung und präzise Kontrolle entwickelt wurde. Die intuitiven Bedienelemente und eingebauten Sicherheitsfunktionen machen es zu einer idealen Wahl für eine Vielzahl von Verarbeitungsanforderungen.
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