Gebraucht VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta HC #293646025 zu verkaufen

VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta HC ist ein Ionenimplantierer und -monitor, der entwickelt wurde, um eine hervorragende Prozesssteuerung und eine hohe Produktivität bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen zu gewährleisten. Die erweiterten Funktionen des Geräts sind in einer einzigen Kammer untergebracht und werden über eine benutzerfreundliche Oberfläche gesteuert. Der Ionenimplantatabschnitt des Systems besteht aus einem großen, zylindrischen Hochenergiebeschleuniger mit einem einstellbaren Öffnungswinkel, der auf einen Bereich unterschiedlicher Werte eingestellt werden kann, um die Winkelspreizung der Ionen einzustellen. Dies ermöglicht eine Vielzahl von Implantationsselektivitätsoptionen, wie Hochwinkel- und Breitflächenimplantate. Das Gerät verfügt auch über eine hochpräzise, 10-achsige Durchführung, die mit Mikron-Genauigkeit positioniert werden kann, so dass die Position, Größe und Form des Ionenstrahls genau kontrolliert werden kann. Der Monitorabschnitt der Maschine verfügt über einen Multi-Detektor-Aufbau, der eine Reihe von Parametern messen kann, einschließlich Implantatstrahlstrom und Energie, Flussdichte, Streuung mit hohem Winkel und Winkelausbreitung. Dies ermöglicht eine kontinuierliche Qualitätskontrolle des Implantationsprozesses und minimiert das Risiko von Geräteausfällen. Das Werkzeug ist auch mit mehreren Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, wie Nothalte- und Schildschutz, um eine Exposition gegenüber energiereicher Strahlung zu verhindern und das Verletzungsrisiko beim Betrieb des Geräts zu minimieren. Es enthält auch ein ausgeklügeltes Modell der optischen und elektrischen Diagnostik, um die Eigenschaften des Ionenstrahls zu überwachen und eine optimale Leistung zu gewährleisten. Darüber hinaus ist AMAT VIISta HC für die einfache Integration in bestehende Produktionslinien konzipiert, mit Anschlussmöglichkeiten an periphere Komponenten wie Plasma- oder Ätzsysteme. Dies sorgt für ein hohes Maß an Flexibilität und einen zuverlässigen Betrieb der gesamten Produktionslinie. Insgesamt ist VARIAN VIISta HC ein leistungsfähiger und zuverlässiger Implantierer und Monitor, der eine hervorragende Prozesssteuerung und hohe Produktivität bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen bietet.