Gebraucht VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta HC #293766493 zu verkaufen
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VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta HC ist ein hochpräziser Ionenimplantator und -monitor mit hoher Kapazität, der entwickelt wurde, um hohe Dosen von Ionen bei hohen Dosisraten zu verwalten. Die Ionenstrahlenergie wird auf bis zu 35 MeV beschleunigt. Die Maschine ist mit einer breiten Palette von Technologien, Funktionen und Optionen ausgestattet, die es dem Anwender ermöglichen, großflächig exakt Ionen mit genau kontrollierten Dosen für die mehrjährige Herstellung integrierter Schaltungen zu implantieren. Das Gerät ist hochgradig konfigurierbar und kann so programmiert werden, dass gezielte Ionenimplantationen auf verschiedene Weise durchgeführt werden. Es verfügt über ein mehrstufiges variables Energiebeschleunigungssystem mit mehreren Energieeinstellungen zur präzisen Steuerung der Ionenstrahlenergie. Darüber hinaus verfügt das Gerät über einen digitalen Scan-Controller mit automatischen Scanfunktionen zur Simulation und Überprüfung der gewünschten Implantationsform. Die Multi-May-Steuerung ermöglicht eine präzise Steuerung von Simulationsparametern und eine präzise Ausrichtung des Ionenstrahls bei hoher Dosisgleichförmigkeit. AMAT VIISta HC verfügt auch über ein Hochleistungs-mehrstufiges Gasspülwerkzeug, um Sputtern zu minimieren und die Ioneneinspritzeffizienz zu maximieren. Dieser Vermögenswert gewährleistet eine signifikante Kontrolle über die Zusammensetzung des Ionenstrahls und hilft, eine konstante Ionenartenzusammensetzung aufrechtzuerhalten. VARIAN VIISta HC ist auch mit Sicherheitsfunktionen ausgestattet, um den Bediener während des Gebrauchs vor dem Ionenstrahl zu schützen. Sicherheitsmerkmale sind Sicherheitsverschlüsse zur Abdeckung des Strahlengangs während der Implantation, ein Kraftfeld zur Verringerung der Streustrahlung und ein Notabschaltmodell. VIISta HC kann alle Ionenimplantationsparameter überwachen, einschließlich Dosis, Strahlstrom, Anodenstrom, Strahlbreite, Gasdruck und Gaszusammensetzung. Die Überwachungseinrichtung gibt dem Bediener in Echtzeit Rückmeldung über die Zusammensetzung der Zielimplantate und deren Auswirkungen auf das Substrat. Die Informationen können zur Überprüfung und Optimierung des Ionenimplantationsprozesses verwendet werden. ANGEWANDTE MATERIALIEN VIISta HC ist auch mit mehreren Dämpfungsmechanismen ausgestattet, um mechanische Schwingungen zu minimieren, die durch die Ionenstrahlbeschleunigung verursacht werden können. Die Maschine ist für den Langzeitbetrieb ausgelegt und kann über Jahre einfach betrieben werden. Insgesamt ist VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta HC ein fortschrittlicher Ionenimplantator und -monitor, der entwickelt wurde, um hochpräzise Implantationen mit hoher Kapazität anzubieten. Durch die Kombination von Funktionen wie Hochleistungs-, Mehrstufengasspülung, präzises digitales Scannen, Sicherheitsverschlüssen sowie Überwachung, Dämpfung und anderen Funktionen bietet diese Maschine hervorragende Implantationsparameter und Gleichmäßigkeit bei hohen Dosen. Seine umfassenden Sicherheitsmerkmale machen es auch zu einem sichereren Werkzeug für den Bediener. AMAT VIISta HC ist eine ideale Wahl für die Herstellung von High-End integrierten Schaltungen.
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