Gebraucht VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta HE #293597134 zu verkaufen

VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta HE
ID: 293597134
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2008
Medium current ion implanter, 12" 2008 vintage.
VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta HE ist ein Ionenimplantator und Monitor, der es Anwendern ermöglicht, eine Fläche mit intensiver Energie zu versorgen. Es kombiniert kompakte und modulare Hardware sowie neue Software- und Steuerungsfunktionen, um eine Ausrüstung zu schaffen, die anspruchsvolle Anwendungen mit hoher Energie bewältigt. Es ist so konzipiert, dass es sehr zuverlässig ist und konstant genaue Ergebnisse mit stabilen und konsistenten Emissionsraten erzielt. Das System umfasst eine einheitliche Kammerkonstruktion mit einem strömungsgeführten Ionenstrahlwinkelmodul. Dadurch kann der Benutzer die Energie des Ionenstrahls auf einen gewünschten Bereich fokussieren, ohne unerwünschte unbeabsichtigte Ergebnisse zu erzielen. AMAT VIISta HE ist mit einer Ionenstrahl-Impedanz-Referenzeinheit ausgestattet, die dem Benutzer die Feinabstimmung der Strahlintensität und des Stroms ermöglicht. Dadurch entsteht ein homogener und konsistenter Ionenstrahlengang, der einen konstanten Strahlstrom während des gesamten Implantationsprozesses gewährleistet. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine umfassende Software-Suite zur Überwachung und Prozesssteuerung. Dieses ausgeklügelte Softwarepaket automatisiert die Konfiguration, Steuerung und Überwachung der Implantationsparameter für fortgeschrittene Implantationsprozesse. Es enthält erweiterte Steuerungsoptionen zur automatischen Anpassung der Geräteparameter an die Feinabstimmung des Prozesses. Die Software kann auch Daten aus dem Prozess direkt erfassen und speichern und eine Live-Überwachung während der Implantation ermöglichen. VARIAN VIISta ER kommt auch mit einem Hochenergie-Kammerfenster. Dieses speziell entwickelte Fenster bietet eine überlegene Strahlübertragung und erhöht den Durchsatz des gesamten Werkzeugs. Darüber hinaus bietet es zusätzlichen Schutz für die Komponenten innerhalb der Kammer, indem es sie in einer Umgebung unterbringt, die beständiger gegen Staub und andere Umweltgefahren ist. Zusätzlich zu seinen Hardware- und Softwarefunktionen bietet das Asset eine Reihe von Support-Services, um eine optimale Leistung zu gewährleisten. Dazu gehören Kundensupport und Schulungsmaterial sowie eine erweiterte Garantie. Das Modell ist auch zertifiziert, um mit einer Reihe von Prozessmaterialien zu arbeiten, einschließlich Metallen, Halbleitermaterialien und anderen Materialien, die üblicherweise in Implantationsprozessen verwendet werden. Insgesamt ist VIISta HE ein leistungsfähiger und zuverlässiger Ionenimplantator und Monitor für anspruchsvolle Hochenergieanwendungen. Es ist für überlegene Leistung ausgelegt und bietet eine Reihe von Funktionen, um einen genauen, konsistenten und sicheren Betrieb zu gewährleisten.
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