Gebraucht VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta #9292131 zu verkaufen

VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta ist ein fortschrittlicher Ionenimplantator und Monitor, der entwickelt wurde, um eine hochpräzise Ionenstrahlabgabe für die Herstellung von Halbleiterbauelementen bereitzustellen. Es ist in der Lage, eine breite Palette von Strahlenergien und damit eine Vielzahl von Ionenarten zu liefern, während die Steuerung der Strahlintensität und Platzierung mit bemerkenswerter Genauigkeit. Die Einheit besteht aus mehreren Modulen, einschließlich der Ionenstrahlbeschleunigungs- und strahlbildenden Komponenten, der Strahlabtasteinrichtung und der Endstation. Das Beschleunigungssystem verwendet ein Axialfeld-Magnetresonanzdesign zur Ionenstrahlenergiesteuerung. Diese Konstruktion ist in der Lage, Ionenstrahlen bis zu 500keV zu produzieren. Die Stromversorgung für dieses Gerät umfasst auch schnell gepulste Detektions- und Steuerschaltungen zur präzisen Strahlenergieregulierung. Darüber hinaus umfasst die Maschine mehrere Strahlqualitätsüberwachungen, um sicherzustellen, dass der Strahl für die Anwendung geeignet ist. Das Ionenstrahl-Scan-Tool basiert auf einem fortschrittlichen, schnell lenkbaren Asset, das Lissajous-ähnliche Muster erzeugt, um den Strahl genau in den Wafer zu lenken. Dieses Modell umfasst eine computergesteuerte Hochgeschwindigkeitsausrüstung, die bis zu 256 Bereiche pro Sekunde mit einer Auflösung von bis zu 0,02 Mikrometern erzeugen kann. Der Ionenstrahlsteuerer ist auch in der Lage, sehr kleine kreisförmige Musterziele zur überlegenen Steuerung zu erzeugen. Die Endstation ist eine vollautomatisierte Wafer-Handhabungseinheit mit integriertem Prozessmonitor. Diese Einheit umfasst mehrere Sensoren, um die Position und Orientierung des Wafers und des Ionenstrahls zu verfolgen und den Implantatprozess zu überwachen. Es verwendet auch Onboard-Software für Geräte-Tracking und Analyse. Darüber hinaus umfasst die Einheit ein vielseitiges Wafer-Spannsystem für verschiedene Substrattypen und eine verstellbare Kammer zur Manipulation der Implantattiefe. Schließlich enthält die Einheit eine bidirektionale Kommunikationsschnittstelle zur Integration in Rechnernetzwerke. Zusammenfassend ist AMAT VIISta ein fortschrittlicher Ionenimplantator und Monitor, der präzise Strahlenergien liefern und die Strahlplatzierung mit bemerkenswerter Genauigkeit genau steuern kann. Seine vielen Komponenten, von der Ionenstrahlbeschleunigungseinheit und der Strahlabtaststeuerung bis zur Endstation mit seinem integrierten Prozessüberwachungsalgorithmus, machen dies zu einer idealen Wahl für alle Anforderungen der Halbleiterbauelementeherstellung.