Gebraucht VARIAN CF5 #9210374 zu verkaufen
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ID: 9210374
Ion implanter
CTI Cryo pump
AMU Meter
Research end station
Flow: Cassette to cassette
Oxygen and SiF
Platens for heat / LN2 Wafers
(3) WELCH 1397 Mech pumps
THERMO NESLAB Recirculating chiller
(2) Bernas sources
200kev.
VARIAN CF5 ist ein Ionenimplantierer und -monitor von VARIAN Semiconductor Equipment, der zur VARIAN Group gehört. VARIAN CF-5 bietet eine umfassende Palette von Werkzeugen und Fähigkeiten zur Unterstützung der fortschrittlichen Ionenimplantationsverarbeitung. CF 5 verfügt über eine hochenergetische, hochstrahlende und hochpräzise Elektroneneinschlagsquelle für die Ionenimplantation. Es ist mit einem Hochleistungsregler, einer leistungsstarken energieorientierten Fensterimplantat-Betriebsumgebung und einer robusten Beamline ausgestattet, die für die Verarbeitung einer Vielzahl von Materialien entwickelt wurde. Darüber hinaus bietet CF5 erweiterte Prozesssteuerungsfunktionen, die es Anwendern ermöglichen, Ergebnisse für eine Vielzahl von Implantatanforderungen zu erzielen. CF-5 verfügt über eine Kapazität von 60-150KV Implantatenergie und 1-500uA Strahlstrom sowie über eine breite Palette von Quellstrahl-Abstimmmöglichkeiten, um Implantate von optimaler Qualität zu erstellen. Darüber hinaus bietet VARIAN CF 5 auch hochpräzise Dosissteuerungsfunktionen mit Drücken zwischen 0,001-1 mTorr. In Verbindung mit einem ausgeklügelten, hochpräzisen Druck-Dosis-Kalibriersystem ist VARIAN CF5 in der Lage, hochkonsistente Chargen von Implantaten zu erzeugen. Darüber hinaus wurde der Einheitlichkeitsmodus von VARIAN CF-5 entwickelt, um eine gleichmäßige Dosis- und Energieverteilung bei gleichmäßiger Dosierung, Energie und Strahlintensität zu gewährleisten. Das Modul kann auch extrem präzise Positionierungs- und Ausrichtungsparameter zur strengen Steuerung der Implantation erreichen. Der fortschrittliche Ionenmonitor von CF 5 wurde entwickelt, um die Echtzeit-Überwachung von Prozessparametern wie Düsengröße, Abstand zwischen Düse und Probe und eingespritzte Energie bereitzustellen und dabei kontinuierlich für optimale Ergebnisse anzupassen. Der Monitor verfügt über eine intuitive grafische Oberfläche, umfassende Systemprotokollierungsfunktionen und rückverfolgbare Daten, um eine möglichst präzise Überwachung zu gewährleisten. Zusammenfassend ist CF5 ein fortschrittlicher, hochwertiger Ionenimplantator und -monitor, der Anwendern eine umfassende Palette von Optionen für ihre Ionenimplantationsprozesse sowie hochpräzise Dosiskontrollfunktionen und eine ausgeklügelte, hochpräzise Druck-Dosis-Kalibrierung bietet. Darüber hinaus verfügt CF-5 über einen erweiterten Ionenmonitor für die Echtzeit-Prozessüberwachung und ein rückverfolgbares Datensystem, um möglichst genaue Ergebnisse zu gewährleisten.
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