Gebraucht VARIAN DF5394-1 #9260507 zu verkaufen
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VARIAN DF5394-1 ist ein fortschrittlicher Ionenimplantator und Monitor, der speziell entwickelt wurde, um eine zuverlässige und leistungsstarke Implantation mehrerer Ionen in Wafersubstrate zu ermöglichen. DF5394-1 ist ein Mehrbalken, mittleres aktuelles Ion implanter, der eine Reihe von Bestandteilen zeigt, um optimale Implantationsprozesse in einer Vielfalt von Anwendungseinstellungen zu sichern. VARIAN DF5394-1 ist mit einem fortschrittlichen Mass Flow Controller (MFC) ausgestattet, der eine präzise Steuerung der prozessbegrenzenden Anionen und Kationen sowie ein Peak Lock Control (SPS) -System bietet, das eine zuverlässige Parallelität und Gleichmäßigkeit gewährleistet. Beide Systeme ermöglichen eine hohe Genauigkeit im Implantationsprozess, reduzieren Emissionen und verbessern die Leistung. Die Implantationsquelle des Implantierers ist ein Einkathoden-Niederenergie-Diodendesign. Dieses System ermöglicht es dem Implantierer, mit einer Reihe von Energien zu arbeiten, von niedrigen bis zu hohen Niveaus. Mit einer Anodengrenze von 900V kann der Implantator eine hohe Leistung über eine breite Palette von Implantationsmaterialien erreichen, einschließlich Silizium, Bor, Fluor und anderen Spezies. Das Diodendesign sorgt auch für die schnelle Reaktionszeit des Implantierers und trägt dazu bei, die für den Implantationsprozess erforderliche Zeit zu reduzieren. DF5394-1 verfügt über einen spezialisierten Monitor zur einfachen Überwachung während des Implantationsprozesses. Dieser Monitor bietet die Möglichkeit, mehrere Ionen gleichzeitig zu überwachen, so dass der Benutzer jeden Schritt des Implantationsprozesses leicht beobachten kann. Dies ermöglicht eine bessere Steuerung sowie ggf. eine einfachere Anpassung des Implantationsprozesses. Der Monitor enthält auch ein automatisiertes Dosisanpassungssystem, das eine präzise Steuerung des Implantationsprozesses ermöglicht und gleichzeitig die manuelle Anpassung entfällt. VARIAN DF5394-1 bietet ein zuverlässiges Leistungsdesign, das auf optische, hochpräzise und hocheffiziente Implantationsoperationen zugeschnitten ist. Seine fortschrittlichen Komponenten gewährleisten eine einfache Bedienung und erhöhte Genauigkeit während des gesamten Prozesses, während der Monitor eine kontinuierliche Überwachung und detaillierte Kontrolle des Implantationsprozesses ermöglicht. Die Niedrigenergiequelle ermöglicht eine Vielzahl von implantierbaren Arten und energetischen Niveaus, was DF5394-1 zu einem zuverlässigen und vielseitigen Implantierer für mehrere Anwendungseinstellungen macht.
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