Gebraucht VARIAN Disk for 160XP #9412733 zu verkaufen
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VARIAN Disk for 160XP ist ein innovativer Ionenimplantator und Monitor. Es ist für anspruchsvolle Halbleiter-Ionen-Implantationsprozesse konzipiert und in der Lage, ultrahochpräzise, hochdurchsatzmäßig zu arbeiten. Der fortschrittliche 2D-Halbleiterprozessor und das integrierte 3D-Röntgenbildgebungssystem ermöglichen es, die empfindlichsten Ionenimplantationsprozesse durchzuführen und gleichzeitig den Implantatprozess in Echtzeit zu überwachen. Das 160XP verfügt über einen E-Strahl-Generator, der bis zu 1.5kW Leistung liefert und eine gleichzeitige Implantation mit höheren Strömen und Spannungen als konkurrierende Technologien ermöglicht. Die fortschrittliche Lithographie-Software des Geräts hält die erforderlichen Dosen von Elektronen und Ionen während des Implantationsprozesses jederzeit mit außergewöhnlicher Genauigkeit und Präzision aufrecht. Die einzigartige keramische Induktions-Fokussierungstechnologie von VARIAN lenkt die Ionen mit höchster Präzision, erzielt eine bessere Kontrolle über den Implantationsprozess und verbessert die Wiederholbarkeit der Prozesse. Die verbesserte Fokussiermaschine optimiert die Strahlparameter wie Profil und Dosis weiter und liefert eine verbesserte Implantationsleistung in einer einzigen Charge. Ein fortgeschrittenes Röntgenbildsystem ermöglicht eine vollständige 3D-Ansicht der implantierten Proben. Das Werkzeug ist in der Lage, den Implantatprozess gleichzeitig in Echtzeit zu überwachen und seine Dosimetrie zu verfolgen, was optimale Implantatparameter ermöglicht, die replizierbar sind. Die fortschrittliche bildgebende Anlage ermöglicht auch die automatisierte Erkennung der implantierten Spezies und ermöglicht gleichzeitig die Prozessoptimierung. Das 160XP kann für zusätzliche Flexibilität in Labordatensysteme und Host Processing Unit integriert werden und ermöglicht die Steuerung und Überwachung von Implantatoperationen von entfernten Standorten aus. Das Modell wurde entwickelt, um hochpräzise und hochdurchsatzreiche Ionenimplantationen zu liefern, was es ideal für die Halbleiterherstellung macht.
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