Gebraucht VARIAN E1000 #158861 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 158861
Implanter End Station Equipment Rack (cassette module)
Includes:
Granville Phillips vacuum gauge Controller 307
(2) Kollmorgen 00D12B09101-5
Varian Macro Torr Turbo Pump Turbo V-250 969-9007
(3) Varian Gate Valve E11030960
Varian Monitor 104810001
Aydin Controls Monitor 8943L
Circuit Boards:
Varian CPU 101565001
Varian CPU 101565003
Micro Memory MM-6260 AD
Graphic Strategies VGME-6408
Varian CPU COMM.
Varian Analog Control
Varian Digital Cont. 1 101529004
Varian Digital Cont. 2 101529005
Varian Servo Control
(3) Varian Servo Control E15001611
Missing parts
As-is.
VARIAN E1000 ist eine High-End-Ionen-Implantier- und Monitor-Ausrüstung, die den Anforderungen der komplexesten Halbleiterherstellungsschritte gerecht wird. Es ist mit fortschrittlichen Funktionen ausgestattet, um den Durchsatz, den Ertrag und die Qualitätskontrolle zu maximieren. VARIAN E-1000 Ionenimplantator basiert auf der bewährten Technologie des Unternehmens mit einer vertrauenswürdigen, langfristigen Erfolgsbilanz in der Halbleiterindustrie. Es verwendet einen hohen eV-Ausgangsstrahl von Ionen, um die elektrischen und chemischen Eigenschaften des in Schaltungschips verwendeten Halbleitermaterials zu modifizieren. E 1000 wird mit einem 50kW Elektronenstrahl betrieben, der eine gleichmäßige und tiefe Implantation mit hoher Geschwindigkeit ermöglicht. Es ist in der Lage, einen Strahlstrom von bis zu 25mA zu erreichen, mit dem eV-Bereich von 30keV bis 200keV. Die encoderbasierte Mikroprozessorsteuerung in E-1000 vereinfacht die Bedienung und sorgt für präzise Energie und gleichmäßige Konformität. Darüber hinaus macht die patentierte Stromvervielfachereinheit E1000 optimal für Hochstrom-Implantationsprojekte, während Zweifrequenz-Impulsstrommodus und intelligente Sollwertschaltung ebenfalls verfügbar sind. VARIAN E 1000 Funktionen werden von der Proton Control™ Software des Unternehmens gesteuert, die einen umfassenden Satz von Steuerungsparametern, Überwachungs-, Warn- und Kontrollfunktionen sowie eine Selbstdiagnosemaschine zur Erkennung von Verunreinigungen, zur Gewährleistung der Strahlstabilität und zur Gewährleistung einer gleichbleibenden Qualität der Komponenten bietet. Die Software umfasst auch Module zur Maskenerstellung, Filmanalyse, Gas- und Partikelanalyse und Berichterstattung. VARIAN E1000 ist zuverlässig und robust gebaut, mit einer Konstruktion aus langlebigen, korrosionsbeständigen Materialien und ist nach ISO 9001:2015 und CE CE-zertifiziert. Darüber hinaus ermöglicht sein effizientes Design eine schnelle Prozessumstellung, sodass Anwender problemlos mit sich ständig ändernden Produktanforderungen Schritt halten können. Insgesamt ist VARIAN E-1000 ein hocheffizientes Ionen-Implantier- und Überwachungswerkzeug, das zuverlässige, wiederholbare Ergebnisse liefert. Seine erweiterten Funktionen, einschließlich seiner Encoder-basierten Mikroprozessorsteuerung und Proton Control™ Software, geben den Benutzern die Kontrolle und Überwachung, die sie benötigen, während seine robuste Konstruktion und sein effizientes Design eine schnelle und zuverlässige Hochvolumenimplantation ermöglichen.
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