Gebraucht VARIAN E1000 #293603454 zu verkaufen

ID: 293603454
Wafergröße: 6"
Ion implanter, 6" End-station type: VIISion.
VARIAN E1000 Ionenimplantat- und Monitorgeräte sind ein hochpräzises, hocheffizientes, vollautomatisches Ionenimplantatsystem, das für kommerzielle Halbleiterproduktions- und Forschungsanwendungen entwickelt wurde. Es verfügt über High-End-Komponenten, eine vollständige Palette von Implantationsmodi und einen modularen Aufbau, der eine schnelle Rekonfiguration abhängig von den spezifischen Bedürfnissen des Benutzers ermöglicht. Sein robustes Design sorgt für zuverlässige, langfristige Leistung und Energieeinsparung. Das Herz der Einheit ist seine Hochfrequenzhochspannung Seitliche Verbreitung Implanter (LDFI), der Rapid Thermal Ion Implantation (RTII) und statische Verbreitungstechniken für die hohe Leistungsfähigkeit, reproduzierbare Implantation von Ionen vereinigt. Eine einzigartige Low-Power-Quelle, die schnelle RTII-Verarbeitung unterstützt, führt zu extrem geringen Prozessausfallzeiten. VARIAN E-1000 ist in der Lage, bei Energien von bis zu 300 keV mit extrem hoher Präzision eine gleichmäßige Dosierung und überlegene Überwachungsgenauigkeit zu implantieren. Die Implantatchemie von E 1000 wird durch Windows-basierte Software gesteuert und bietet eine benutzerfreundliche Oberfläche für Setup, Tuning und Kalibrierung sowie für die Echtzeit-Datenspeicherung und -Visualisierung. Die Maschine verfügt auch über integrierte Oberflächenbildgebung (ERMI) für Oberflächenprofilierung und Fehleranalyse. Dies ermöglicht eine vollständige Charakterisierung der implantierten Schicht und hilft, die Präzision des Prozesses ohne manuelle Anpassungen zu optimieren. Die Flexibilität der Maschine wird durch den modularen Aufbau weiter verbessert, wodurch aufgrund veränderter Technologieanforderungen keine manuelle Neukonfiguration erforderlich ist. Die modularen Komponenten sind schnell und einfach austauschbar und können bei Bedarf leicht verlagert werden. VARIAN E 1000 ist so konzipiert, dass es umweltfreundlich ist, effizienten elektrischen Antrieb nutzt, Zykluszeiten verkürzt und verbesserte Kühl- und Containment-Designs aufweist. Alle Systeme können remote verwaltet werden, sodass Benutzer mit ihren Prozessen und Geräten in Verbindung bleiben können. Abschließend ist E1000 Ionenimplantierer & Monitor das ideale Werkzeug für hochpräzise, hocheffiziente Halbleiterproduktion und Forschungsanwendungen. Es verfügt über ein leistungsstarkes Hochfrequenz-LDFI, fortschrittliche Software und Oberflächenbildgebung, ein modulares Design und benutzerfreundliche Funktionen, die eine schnelle und einfache Einrichtung, Abstimmung und Überwachung ermöglichen, so dass Benutzer ihre Prozesse auf ihre individuellen Bedürfnisse konfigurieren können.
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