Gebraucht VARIAN E1000 #44234 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 44234
Spare parts - many available
Suppression power supply: E11006900
Interface: 101927001
Cryo control: 112627001
Cryo pump: CT250F
JAR motor: 112612001
(3) Motor of road lock
R4 scan motor: 11364002
R1 vacuum feed thru: 112610001
R6 vacuum feed thru: 112614001
Disk motor
(2) Wafter lift assembly, 8" hook type
Acceleration tube (needs cleaning)
Beam gate-gate valve: VAT 17/93
(3)Main chamber cryogate valve: VAT 33/93
Manipulator
Varian plasma and bias supply (needs repair).
VARIAN E1000 ist ein Ionenimplantator und -monitor, mit dem Dotierungsionen in Halbleitern und Festkörperbauelementen modifiziert und verlagert werden können. Es ist eine komplette Ionenimplantationsanlage, die eine zuverlässige, wiederholbare und kostengünstige Implantation verschiedener Ionen bietet, um die elektrischen Eigenschaften von Halbleiterbauelementen zu modifizieren. VARIAN E-1000 ist aufgrund seiner fortschrittlichen Technologie und strengen Prozesskontrolle in der Lage, eine hochgenaue Implantation mit hochwertigen Ergebnissen zu erreichen. Das System nutzt einen großen Strahlenergiebereich, um Flexibilität bei der Kontrolle der Implantationstiefe und -dosis zu bieten. Es ist in der Lage, in wenigen Sekunden bis zu 100 Mikrometer zu implantieren. Dieses Gerät ist auch mit einem extrem genauen Strahlmonitor ausgestattet, der eine Echtzeit-Messung der Implantationsparameter ermöglicht und die allgemeine Prozessgenauigkeit und Wiederholbarkeit gewährleistet. E 1000 beinhaltet eine zuverlässige Wärmefeldemissionskanone, die einen entsprechend geregelten Heißfaden und einen einstellbaren Emissionsstrom zur Erzeugung eines Ionenstrahls mit geringer Emission bietet, wodurch Wärmelast und Strahlverzerrung reduziert werden. Die Pistole ist mit bis zu 120 keV Strahlenergie betreibbar und arbeitet mit einer gleichmäßigen und gleichmäßigen Implantatverteilung. Die Maschine umfasst auch anspruchsvolle computergesteuerte Steuerungssysteme und leistungsstarke Bewegungshardware, die dem Benutzer die Möglichkeit gibt, jede Phase des Implantationsprozesses zu überwachen und zu steuern. Die benutzerfreundliche und intuitive grafische Benutzerinterphase unterstützt die Navigation der Prozessnavigation und Parameter. Der Implantierer ist auch in der Lage, Implantationsdosen in Echtzeit zu überwachen und die Bedienersicherheit wird durch Sicherheitsschlösser weiter erhöht, die einen unbefugten Zugriff auf den Implantat- und Maschinenbereich verhindern. E1000 bietet einen zuverlässigen und leistungsstarken Ionenimplantierer für den Einsatz in mehreren Branchen. Mit seiner fortschrittlichen Technologie und durch Prozesskontrolle wurde das Tool auf Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Qualität ausgelegt.
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