Gebraucht VARIAN E1000 #9214217 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9214217
Weinlese: 1994
High current implanter
Chamber cryo pump: CT-250F
Source dry pump: QDP80
Beam-line turbo pump: LEYBOLD
L/L Rough pump: QDP80 + QMB250
L/L Turbo pump: VARIAN 300HT
Station: Bell jar
Scrubber: VECTOR TECHNOLOGIES
Process gas: BF3, PH3, ASH3
Power: 380 VAC, 3 Phase, 4 Wires, 55 kVA
1994 vintage.
VARIAN E1000 ist ein Ionenimplantierer und -monitor, der von VARIAN Semiconductor Equipment Associates (VSEA) entwickelt und hergestellt wurde. Es ist ein elektrostatischer Beschleuniger, der Ionen verschiedener Materialien in flache oder gekrümmte Substrate wie Wafer implantieren kann. Das Gerät wurde entwickelt, um eine genaue, zuverlässige und kostengünstige Methode zur Steuerung eines Ionenimplantationsprozesses bereitzustellen. VARIAN E-1000 besteht aus zwei Hauptkomponenten: der Ionenquelle und dem Ionenstrahlmonitor. Die Ionenquelle besteht aus einer membranlosen Ionenquelle, die in der Lage ist, hochintensive niederenergetische Strahlen zu erzeugen. Das Gerät ist mit einem variablen Strom ausgestattet, der unterschiedliche Strahlströme und Ionenenergien ermöglicht und eine präzise Steuerung des Implantationsprozesses ermöglicht. Der Ionenstrahl-Monitor ist ein Quadrupol-Massenspektrometer, das den Ionenstrahlfluss und die Energie misst und eine Rückkopplung für die Prozesssteuerung liefert. Zusätzlich zu diesen Komponenten verfügt E 1000 über eine Vielzahl weiterer Funktionalitäten zur Verbesserung der Prozessleistung. Dazu gehören ein Strahlabschalter, Spannungsstabilitätsüberwachungen und ein Strahlstromrückkopplungssystem, um eine konsistente Ionenimplantation zu ermöglichen. Darüber hinaus ist das Gerät hochautomatisiert, was einen unbeaufsichtigten Betrieb und die Integration in automatisierte Produktionssysteme ermöglicht. In Bezug auf die Auswirkungen verbessert VARIAN E 1000 die Genauigkeit und Zuverlässigkeit der Ionenimplantationsprozesse erheblich. Es ist ideal für den Einsatz in der Halbleiterherstellung und bietet eine präzise Kontrolle der Implantation, die sonst schwer zu erreichen wäre. Unter Verwendung der Vorrichtung können Implantationsprozesse ohne manuellen Eingriff durchgeführt werden, was die Betriebskosten erheblich senkt. Darüber hinaus ist die Vorrichtung auch in der Lage, Kontaminationen und andere Verunreinigungen im Implantationsprozess zu erkennen, was eine bessere Qualitätskontrolle ermöglicht. Insgesamt ist E1000 ein fortschrittlicher, zuverlässiger Ionenimplantator und -monitor. Es bietet eine einfache, kostengünstige und genaue Methode zur Steuerung von Implantationsprozessen, so dass die Produktion effizienter und zuverlässiger wird. Dieses Gerät ist ideal für den Einsatz in der Halbleiterherstellung und wird wahrscheinlich weiterhin ein wesentlicher Bestandteil der Industrie werden.
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