Gebraucht VARIAN E1000HP #9229635 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9229635
Weinlese: 1994
High current ion implanter
Chamber cryo pump: CT-250F X 4EA
Source dry pump: QDP80
Beamline turbo pump: LEYBOLD
L/L Rough pump: QDP80 + QMB250
L/L Turbo pump: VARIAN 300 HT
End station type: Bell jar
VECTOR Scrubber
Process gas: BF3, PH3, AsH3
Power: 380 VAC, 3 Phase, 4 wires, 55 kVA
1994 vintage.
VARIAN E1000HP ist ein von VARIAN Semiconductor entwickelter Ionenimplantator und Monitor. Es ist ein Hochleistungsimplantator, der bis zu 100 keV in einer Vielzahl von Materialien mit großer Genauigkeit und Präzision implantieren kann. Es bietet auch gleichzeitige Erosion und Implantation, so dass Sie die Tiefe der Implantate steuern können. VARIAN E1000 HP enthält einen Dual-Strahl-Energieanalysator, der höchste Präzision und Genauigkeit für Strom, Dosisrate und Dosis liefert. E-1000 HP verwendet auch ein einzigartiges, Ionisationskammerdesign mit einem patentierten Mehrkanal-Leistungsverstärker für erhöhte Geschwindigkeit, Genauigkeit und Kontrolle von Energie und Strom. E1000HP bietet auch verschiedene Softwaresteuerungen, die eine einfache Manipulation der Ionenstrahlparameter ermöglichen. Dazu gehören Scanfunktionen für Dosiskarten, aktuelle Änderungen und Echtzeit-Ionenimplantationskontrolle. Das integrierte Filmdisplay bietet Ihnen eine Echtzeitansicht des Implantationszyklus und des Zielmaterials. Weitere Merkmale von VARIAN E-1000 HP sind die mehrachsige Plasmasteuerung, die einen größeren Bereich von Strahlparametern ermöglicht, und die hochpräzise Strahlfokussierung für eine höhere Genauigkeit der implantierten Materialien. E1000 HP ist auf langfristige Zuverlässigkeit und Leistung ausgelegt und eignet sich für viele verschiedene Anwendungen wie Halbleiterimplantate, LED-Implantierung, Flachbildschirm-Implantierung, Mikroelektronik und Vakuumtechnologie Implantierung sowie viele andere. VARIAN E1000HP bietet auch optionale HF-Plasmareinigungssysteme für die Implantation und Geräteentgasung und kann sowohl für Standard- als auch für Spezialimplantate verwendet werden. Dies macht es zu einem einfach zu bedienenden und umfassenden Werkzeug für diejenigen, die verbesserte Ionenimplantationsergebnisse suchen. Abschließend ist VARIAN E1000 HP ein leistungsstarker, vielseitiger und hochgenauer Ionenimplantator und -monitor, der präzise Ionenimplantationsmöglichkeiten mit Leichtigkeit bietet. Es bietet eine Vielzahl von Funktionen und Bedienelementen, die es für eine Reihe von Anwendungen geeignet machen und ist einer der fortschrittlichsten und zuverlässigsten Hochleistungsimplantierer verfügbar.
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