Gebraucht VARIAN E11000090 #9110167 zu verkaufen
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VARIAN E11000090 ist ein Hochleistungs-Ionen-Implantierer und -Monitor, der präzise und leistungsstarke Ionen-Dotierung bietet, die für fortgeschrittene Halbleiterherstellungsprozesse geeignet ist. Es ist ein einseitiger, dedizierter Implantierer und Monitor, der mit einer breiten Palette von Ionen arbeitet. Es ist für hohe Effizienz und Geschwindigkeit ausgelegt und liefert bis zu 60kW maximale Ausgangsleistung. E11000090 verfügt über fortschrittliche Funktionen, wie seine Liquid Source Helplines, die Düsenmittelpunkte automatisch anpassen, um die Position der Quelle zu optimieren, und seine Vakuumübertragungsleitung, die in der Lage ist, Material direkt in das Vakuum einzuspritzen. Es verfügt auch über eine Rückseite Implantat-Fähigkeiten, so dass Benutzer selektiv implantieren verschiedene Dotierungsmittel in verschiedenen Bereichen des Substrats. VARIAN E11000090 wird auch mit einem optischen rückseitigen Ionenmonitor geliefert, der die Vor-Ort-Überwachung des Implantatfortschritts ermöglicht. E11000090 kann Dosen von Ionen bis zu 10 ^ 15/cm2 mit einer Auflösung von bis zu 10 nm liefern und ist mit einem externen Strahlabtastsystem zur ultrafeinen Kontrolle der Abmessungen des Strahls ausgestattet. Es bietet leistungsstarke Strahlstabilisierungsfunktionen, um eine genaue Kontrolle der Implantatdosis und -position zu gewährleisten. Die Funktion des Strahlstrommonitors des Implantierers kann auch Partikel jeder Größe erkennen und identifizieren, die während des Dotierungsprozesses vorhanden sein können. Neben seinen leistungsstarken Ionenimplantationsmöglichkeiten bietet VARIAN E11000090 auch eine Reihe von Werkzeugen zur Analyse und Überwachung des Implantatprozesses. Das automatisierte Ausrichtungssystem passt die Position von Düse und Substrat automatisch an, um die Präzision des Implantatprofils zu optimieren. Es verfügt auch über ein Ionenflussmessgerät, das die Menge der vom Substrat absorbierten Implantationen misst und aufzeichnet. Der Multi-Channel Ion Flux Detector des Monitors kann mehrere Kanäle des Ionenflusses aus verschiedenen Winkeln erkennen, so dass Benutzer maximale Gleichmäßigkeit und Genauigkeit in ihren Dotierungsprozessen gewährleisten. E11000090 Ionenimplantierer und Monitor ist ein leistungsfähiges und zuverlässiges Werkzeug, um qualitativ hochwertige Ergebnisse zu liefern. Es bietet Tools, die helfen können, Genauigkeit und Präzision in Dopingprozessen zu gewährleisten, so dass Benutzer beispiellose Leistung erzielen können.
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