Gebraucht VARIAN E11001040 #9211648 zu verkaufen
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VARIAN E11001040 ist ein hochmoderner Ionenimplantator und -monitor, der eine hervorragende, hochpräzise Ionenstrahltechnologie für die Verarbeitung von Halbleiterscheiben bietet. Es ist einer der fortschrittlichsten Implantatoren auf dem Markt, mit außergewöhnlicher Genauigkeit und Zuverlässigkeit. Zur Unterstützung des Hochleistungsbetriebs umfasst das Gerät mehrere hochmoderne Komponenten. Eine energiereiche Strahllinie sorgt für eine optimale Strahlenergieabgabe zum Implantieren der gewünschten Ionen. Das motorisierte Stufenscan-System ermöglicht präzise wiederholbare Scans von optimierten Transepts, um einheitliche Implantate zu gewährleisten. Zusätzlich kann der implantierte Strahl durch Ablenker und Schlitze gerichtet werden. Damit eignet sich das Gerät für großflächige und lokale Implantate wie flache Übergänge in Halbleitermaterialien. Darüber hinaus verfügt das Gerät über einen computergesteuerten Prozessor zur Optimierung der Dosisabgabe. Die Steuerung bietet eine Reihe von einstellbaren Parametern, um die Dosismenge während eines Prozesszyklus zu steuern. Sie kann auch zur Auswertung von Prozessergebnissen auf Wafer-für-Wafer-Basis verwendet werden. Zusätzlich kann der Bediener Parameter wie Strahlstrom, Energie und Scangeschwindigkeit in Echtzeit anpassen. Dies ermöglicht eine schnelle Prozessoptimierung und verbesserte Produktionsausbeuten. Für die Überwachung umfasst E11001040 eines der fortschrittlichsten Endpunkterkennungssysteme auf dem Markt. Dieses System bietet eine präzise, zuverlässige Endpunkterkennung, um genaue Implantate während des gesamten Zyklus zu gewährleisten. Darüber hinaus umfasst das Gerät mehrere Kammerdiagnosen, wie Massenspektrometrie, Infrarot- und sichtbare Lichtspektroskopie und Strahlgebläseanalyse. Diese Diagnostik ermöglicht eine genaue Überwachung des Implantatprozesses mit sofortiger Rückmeldung für Korrekturmaßnahmen bei Bedarf. Alle diese Merkmale kombiniert sorgen für hervorragende Qualität Implantate mit minimalem Abfall und maximale Effizienz. Die fortschrittliche Computersteuerung und Diagnose ermöglicht eine präzise Steuerung des Implantatprozesses, was zu einheitlichen Produkten ohne Fehler führt. Darüber hinaus bieten die hochwertigen Komponenten und das zuverlässige Design langfristige, störungsfreie Leistung und sparen auf lange Sicht Zeit und Geld.
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