Gebraucht VARIAN E11001051 #293671683 zu verkaufen

VARIAN E11001051 ist ein High-End-Ionen-Implantierer und -Monitor für anspruchsvolle Implantat- und Verarbeitungsanwendungen. Es ist mit einer Ionenquelle mit hoher Kapazität ausgestattet und hat die Kapazität, bis zu 350 Wafer pro Stunde in einer Schicht zu bearbeiten. Es enthält einen 25 kW Teilchenstrahl, der Ionen implantieren kann; die Wafergröße ist jedoch auf 6 Zoll begrenzt. Der Monitor ist in der Lage, die implantierten Ionen genau zu messen und eine eingehende Analyse durchzuführen, die eine bessere Prozesskontrolle ermöglicht. E11001051 verfügt über eine Source-to-Wafer-Handhabungseinrichtung, die speziell für den sicheren Transport und die Bearbeitung von Wafern ohne Beschädigung ausgelegt ist. Es verfügt außerdem über ein ausgeklügeltes Strahllenksystem, das eine präzise Implantation über eine Fläche ermöglicht, die größer als die Oberfläche des Wafers ist. Darüber hinaus verfügt das Gerät über einen einzigartigen ultrahochauflösenden Strahlmonitor zur Echtzeitüberwachung von Ionenimplantationsparametern. Dies ermöglicht eine genauere Implantation durch Bereitstellung von Echtzeit-Feedback und Daten. Der Monitor zeigt auch Prozessergebnisse in einem leicht zu interpretierenden Format an, das zum Vergleichen von Ergebnissen aus verschiedenen Verarbeitungsdurchläufen verwendet werden kann. Darüber hinaus verfügt VARIAN E11001051 über eine benutzerfreundliche Schnittstelle, die es den Bedienern erleichtert, mit dem Implantat zu interagieren und ihn zu steuern. Die Schnittstelle ermöglicht auch eine effiziente Einrichtung und Bedienung des Implantats, wodurch Ausfallzeiten und Kopfschmerzen für Bediener reduziert werden. Darüber hinaus kommt es mit automatischer Schichterkennung, die die gleiche Implantation über mehrere verschiedene Schichten des gleichen Wafers ermöglicht. Schließlich enthält die Maschine eingebaute Sicherheitsmerkmale wie Übertemperatur- und Spannungsregelung sowie Notabschaltung. Dadurch wird sichergestellt, dass der Implantat sicher und zuverlässig arbeitet. Insgesamt ist E11001051 eine ideale Wahl für jede Anwendung, die eine präzise und konsistente Ionenimplantation erfordert.